Wafer SiC 4 inci Substrat SiC Semi-Insulasi 6H kelas prima, penelitian, dan tiruan

Deskripsi Singkat:

Substrat silikon karbida semi-terisolasi dibentuk dengan memotong, menggiling, memoles, membersihkan, dan teknologi pemrosesan lainnya setelah pertumbuhan kristal silikon karbida semi-terisolasi.Lapisan kristal berlapis atau multilayer ditanam pada substrat yang memenuhi persyaratan kualitas sebagai epitaksi, dan kemudian perangkat RF gelombang mikro dibuat dengan menggabungkan desain sirkuit dan pengemasan.Tersedia dalam substrat kristal tunggal silikon karbida semi-terisolasi kelas penelitian dan pengujian kelas industri 2 inci 3 inci 4 inci 6 inci 8 inci.

Kirim email ke kami

Rincian produk

Label Produk

Spesifikasi produk

Nilai			Tingkat Produksi Nol MPD (Kelas Z)			Kelas Produksi Standar (Kelas P)		Kelas Dummy (Kelas D)
Diameter			99,5mm~100,0mm
	4H-SI		500 m±20 m			500 m±25 m
Orientasi Wafer			Sumbu mati : 4,0° menuju< 1120 > ±0,5° untuk 4H-N, Sumbu hidup : <0001>±0,5° untuk 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Orientasi Datar Primer		{10-10} ±5,0°
Panjang Datar Primer		32,5mm±2,0mm
Panjang Datar Sekunder		18,0mm±2,0mm
Orientasi Datar Sekunder		Silikon menghadap ke atas: 90° CW.dari Prime datar ±5,0°
Pengecualian Tepi		3mm
LTV/TTV/Busur /Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Kekasaran			C wajah				Polandia		Ra≤1nm
			Wajahmu	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Tepi Retak Oleh Cahaya Intensitas Tinggi		Tidak ada						Panjang kumulatif ≤ 10 mm, tunggal panjang≤2 mm
Pelat Hex Dengan Cahaya Intensitas Tinggi		Luas kumulatif ≤0,05%						Luas kumulatif ≤0,1%
Daerah Politipe Dengan Intensitas Cahaya Tinggi		Tidak ada						Luas kumulatif≤3%
Inklusi Karbon Visual		Luas kumulatif ≤0,05%						Luas kumulatif ≤3%
Permukaan Silikon Tergores Oleh Cahaya Intensitas Tinggi		Tidak ada						Panjang kumulatif≤1＊diameter wafer
Tepi Chips Tinggi Dengan Intensitas Cahaya		Tidak ada yang mengizinkan lebar dan kedalaman ≥0,2 mm						5 diperbolehkan, masing-masing ≤1 mm
Kontaminasi Permukaan Silikon Dengan Intensitas Tinggi		Tidak ada
Kemasan		Kaset Multi-wafer Atau Wadah Wafer Tunggal