Wafer Silikon Karbida (SiC) 6 inci (150 mm) tipe 4H-N untuk Produksi MOS atau SBD, Penelitian, dan Kelas Dummy.
Bidang Aplikasi
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci memainkan peran penting dalam berbagai industri. Pertama, substrat ini banyak digunakan dalam industri semikonduktor untuk pembuatan perangkat elektronik daya tinggi seperti transistor daya, sirkuit terpadu, dan modul daya. Konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan suhu tinggi memungkinkan pembuangan panas yang lebih baik, sehingga menghasilkan peningkatan efisiensi dan keandalan. Kedua, wafer silikon karbida sangat penting dalam bidang penelitian untuk pengembangan material dan perangkat baru. Selain itu, wafer silikon karbida banyak digunakan di bidang optoelektronik, termasuk pembuatan LED dan dioda laser.
Spesifikasi Produk
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci memiliki diameter 6 inci (sekitar 152,4 mm). Kekasaran permukaannya adalah Ra < 0,5 nm, dan ketebalannya adalah 600 ± 25 μm. Substrat dapat disesuaikan dengan konduktivitas tipe N atau tipe P, berdasarkan kebutuhan pelanggan. Selain itu, substrat ini menunjukkan stabilitas mekanik yang luar biasa, mampu menahan tekanan dan getaran.
| Diameter | 150±2.0mm (6 inci) | ||||
| Ketebalan | 350 μm±25μm | ||||
| Orientasi | Pada sumbu ： <0001>±0.5° | Di luar sumbu: 4,0° ke arah 1120±0,5° | |||
| Politipe | 4H | ||||
| Resistivitas (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Orientasi datar utama | {10-10}±5.0° | ||||
| Panjang bidang datar utama (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
| Tepian | Talang | ||||
| TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Depan (Si-face) | Polandia Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Kulit jeruk/biji/retak/kontaminasi/noda/garis-garis | Tidak ada | Tidak ada | Tidak ada | ||
| lekukan | Tidak ada | Tidak ada | Tidak ada | ||
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci adalah material berkinerja tinggi yang banyak digunakan dalam industri semikonduktor, penelitian, dan optoelektronik. Material ini menawarkan konduktivitas termal yang sangat baik, stabilitas mekanik, dan ketahanan suhu tinggi, sehingga cocok untuk pembuatan perangkat elektronik daya tinggi dan penelitian material baru. Kami menyediakan berbagai spesifikasi dan opsi kustomisasi untuk memenuhi beragam permintaan pelanggan.Hubungi kami untuk informasi lebih detail mengenai wafer silikon karbida!
Diagram Terperinci
