Wafer SiC Silikon Karbida 6 inci 150mm tipe 4H-N untuk Riset Produksi MOS atau SBD dan kelas Dummy
Bidang Aplikasi
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci memainkan peran penting dalam berbagai industri. Pertama, digunakan secara luas dalam industri semikonduktor untuk pembuatan perangkat elektronik berdaya tinggi seperti transistor daya, sirkuit terpadu, dan modul daya. Konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap suhu tinggi memungkinkan pembuangan panas yang lebih baik, sehingga meningkatkan efisiensi dan keandalan. Kedua, wafer silikon karbida sangat penting dalam bidang penelitian untuk pengembangan material dan perangkat baru. Selain itu, wafer silikon karbida menemukan aplikasi luas di bidang optoelektronik, termasuk pembuatan LED dan dioda laser.
Spesifikasi Produk
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci memiliki diameter 6 inci (sekitar 152,4 mm). Kekasaran permukaan Ra <0,5 nm, dan ketebalan 600 ± 25 μm. Substrat dapat disesuaikan dengan konduktivitas tipe N atau tipe P, berdasarkan kebutuhan pelanggan. Selain itu, ia menunjukkan stabilitas mekanis yang luar biasa, mampu menahan tekanan dan getaran.
Diameter | 150±2.0mm(6 inci) | ||||
Ketebalan | 350 μm±25μm | ||||
Orientasi | Pada sumbu : <0001>±0,5° | Di luar sumbu:4,0° menuju 1120±0,5° | |||
Politipe | 4H | ||||
Resistivitas (Ω·cm) | 4HN | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Orientasi datar primer | {10-10}±5,0° | ||||
Panjang datar primer (mm) | 47,5mm±2,5mm | ||||
Tepian | Talang | ||||
TTV/Busur/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Depan (Si-wajah) | Polandia Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
TV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Kulit jeruk/lubang/retak/kontaminasi/noda/goresan | Tidak ada | Tidak ada | Tidak ada | ||
indentasi | Tidak ada | Tidak ada | Tidak ada |
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci adalah bahan berkinerja tinggi yang banyak digunakan dalam industri semikonduktor, penelitian, dan optoelektronik. Ia menawarkan konduktivitas termal yang sangat baik, stabilitas mekanis, dan ketahanan suhu tinggi, sehingga cocok untuk pembuatan perangkat elektronik berdaya tinggi dan penelitian material baru. Kami menyediakan berbagai spesifikasi dan opsi penyesuaian untuk memenuhi beragam permintaan pelanggan.Hubungi kami untuk detail lebih lanjut tentang wafer silikon karbida!