Wafer SiC tipe P 4H/6H-P 3C-N 6 inci dengan ketebalan 350 μm dengan Orientasi Datar Primer
Spesifikasi Substrat Komposit SiC Tipe 4H/6H-P Tabel parameter umum
6 Substrat Silikon Karbida (SiC) berdiameter inci Spesifikasi
Nilai | Produksi MPD NolKelas (Z Nilai) | Produksi StandarKelas (Hal Nilai) | Kelas Boneka (D Nilai) | ||
Diameter | 145,5mm~150,0mm | ||||
Ketebalan | 350 mikron ± 25 mikron | ||||
Orientasi Wafer | -Offsumbu: 2,0°-4,0°ke arah [1120] ± 0,5° untuk 4H/6H-P, Pada sumbu:〈111〉± 0,5° untuk 3C-N | ||||
Kepadatan Mikropipa | 0 cm-2 | ||||
Resistivitas | tipe p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
tipe-n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 mΩꞏcm | |||
Orientasi Datar Primer | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Panjang Datar Primer | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Panjang Datar Sekunder | 18,0mm ± 2,0mm | ||||
Orientasi Datar Sekunder | Silikon menghadap ke atas: 90° CW. dari Prime datar ± 5,0° | ||||
Pengecualian Tepi | 3mm | 6mm | |||
LTV/TTV/Busur /Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Kekasaran | Polandia Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Tepi Retak Oleh Cahaya Intensitas Tinggi | Tidak ada | Panjang kumulatif ≤ 10 mm, panjang tunggal≤2 mm | |||
Pelat Hex Dengan Cahaya Intensitas Tinggi | Luas kumulatif ≤0,05% | Luas kumulatif ≤0,1% | |||
Daerah Politipe Dengan Intensitas Cahaya Tinggi | Tidak ada | Luas kumulatif≤3% | |||
Inklusi Karbon Visual | Luas kumulatif ≤0,05% | Luas kumulatif ≤3% | |||
Permukaan Silikon Tergores Oleh Cahaya Intensitas Tinggi | Tidak ada | Panjang kumulatif≤1×diameter wafer | |||
Tepi Chips Tinggi Dengan Intensitas Cahaya | Tidak ada yang mengizinkan lebar dan kedalaman ≥0,2 mm | 5 diperbolehkan, masing-masing ≤1 mm | |||
Kontaminasi Permukaan Silikon Dengan Intensitas Tinggi | Tidak ada | ||||
Kemasan | Kaset Multi-wafer atau Wadah Wafer Tunggal |
Catatan:
※ Batas cacat berlaku untuk seluruh permukaan wafer kecuali area pengecualian tepi. # Goresan sebaiknya dicek pada bagian muka Si o
Wafer SiC tipe P, 4H/6H-P 3C-N, dengan ukuran 6 inci dan ketebalan 350 μm, memainkan peran penting dalam produksi industri elektronika daya berkinerja tinggi. Konduktivitas termal yang sangat baik dan tegangan tembus yang tinggi menjadikannya ideal untuk pembuatan komponen seperti sakelar daya, dioda, dan transistor yang digunakan di lingkungan bersuhu tinggi seperti kendaraan listrik, jaringan listrik, dan sistem energi terbarukan. Kemampuan wafer untuk beroperasi secara efisien dalam kondisi yang keras memastikan kinerja yang andal dalam aplikasi industri yang memerlukan kepadatan daya dan efisiensi energi yang tinggi. Selain itu, orientasi datar utamanya membantu penyelarasan yang tepat selama fabrikasi perangkat, sehingga meningkatkan efisiensi produksi dan konsistensi produk.
Keunggulan substrat komposit SiC tipe N antara lain
- Konduktivitas Termal Tinggi: Wafer SiC tipe P menghilangkan panas secara efisien, menjadikannya ideal untuk aplikasi suhu tinggi.
- Tegangan Kerusakan Tinggi: Mampu menahan tegangan tinggi, memastikan keandalan elektronika daya dan perangkat tegangan tinggi.
- Ketahanan terhadap Lingkungan Keras: Daya tahan yang sangat baik dalam kondisi ekstrim, seperti suhu tinggi dan lingkungan korosif.
- Konversi Daya yang Efisien: Doping tipe P memfasilitasi penanganan daya yang efisien, menjadikan wafer cocok untuk sistem konversi energi.
- Orientasi Datar Primer: Memastikan keselarasan yang tepat selama produksi, meningkatkan akurasi dan konsistensi perangkat.
- Struktur Tipis (350 μm): Ketebalan wafer yang optimal mendukung integrasi ke dalam perangkat elektronik canggih dengan ruang terbatas.
Secara keseluruhan, wafer SiC tipe P, 4H/6H-P 3C-N, menawarkan serangkaian keunggulan yang membuatnya sangat cocok untuk aplikasi industri dan elektronik. Konduktivitas termal dan tegangan rusaknya yang tinggi memungkinkan pengoperasian yang andal di lingkungan bersuhu tinggi dan bertegangan tinggi, sementara ketahanannya terhadap kondisi keras memastikan daya tahan. Doping tipe P memungkinkan konversi daya yang efisien, sehingga ideal untuk elektronika daya dan sistem energi. Selain itu, orientasi datar utama wafer memastikan keselarasan yang tepat selama proses produksi, sehingga meningkatkan konsistensi produksi. Dengan ketebalan 350 μm, sangat cocok untuk diintegrasikan ke dalam perangkat canggih dan ringkas.