Kristal LT Litium Tantalat (LiTaO3) 2 inci/3 inci/4 inci/6 inci Orientasi Y-42°/36°/108° Ketebalan 250-500um
Parameter teknis
Nama | LiTaO3 tingkat optik | Tingkat meja suara LiTaO3 |
Aksial | Potongan Z + / - 0,2 ° | Potongan 36° Y / Potongan 42° Y / Potongan X(+/- 0,2 derajat) |
Diameter | 76,2 mm + / - 0,3 mm/100±0,2 mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm100mm +/-0,3mm atau 150±0,5mm |
Bidang data | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
Ketebalan | 500um + /-5mm1000um +/-5mm | 500um +/-20mm350um +/-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Suhu Curie | 605 °C + / - 0,7 °C (metode DTA) | 605 °C + / -3 °C (metode DTA |
Kualitas permukaan | Pemolesan dua sisi | Pemolesan dua sisi |
Tepi miring | pembulatan tepi | pembulatan tepi |
Karakteristik Utama
1.Struktur Kristal dan Kinerja Listrik
· Stabilitas Kristalografi: dominasi politipe 4H-SiC 100%, inklusi multikristalin nol (misalnya, 6H/15R), dengan kurva goyang XRD lebar penuh pada setengah maksimum (FWHM) ≤32,7 detik busur.
· Mobilitas Pembawa Tinggi: Mobilitas elektron 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) dan mobilitas lubang 380 cm²/V·s, memungkinkan desain perangkat frekuensi tinggi.
·Kekerasan Radiasi: Menahan iradiasi neutron 1 MeV dengan ambang batas kerusakan perpindahan 1×10¹⁵ n/cm², ideal untuk aplikasi luar angkasa dan nuklir.
2. Sifat Termal dan Mekanik
· Konduktivitas Termal yang Luar Biasa: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), tiga kali lipat dari silikon, mendukung operasi di atas 200°C.
· Koefisien Ekspansi Termal Rendah: CTE 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C), memastikan kompatibilitas dengan kemasan berbasis silikon dan meminimalkan tekanan termal.
3. Kontrol Cacat dan Presisi Pemrosesan
Bahasa Indonesia:
· Kepadatan Mikropipa: <0,3 cm⁻² (wafer 8 inci), kepadatan dislokasi <1.000 cm⁻² (diverifikasi melalui etsa KOH).
· Kualitas Permukaan: Dipoles CMP hingga Ra <0,2 nm, memenuhi persyaratan kerataan tingkat litografi EUV.
Aplikasi Utama
Domain | Skenario Aplikasi | Keunggulan Teknis |
Komunikasi Optik | Laser 100G/400G, modul hibrida fotonik silikon | Substrat benih InP memungkinkan celah pita langsung (1,34 eV) dan heteroepitaksi berbasis Si, mengurangi kehilangan kopling optik. |
Kendaraan Energi Baru | Inverter tegangan tinggi 800V, pengisi daya terpasang (OBC) | Substrat 4H-SiC menahan >1.200 V, mengurangi kehilangan konduksi hingga 50% dan volume sistem hingga 40%. |
Komunikasi 5G | Perangkat RF gelombang milimeter (PA/LNA), penguat daya stasiun pangkalan | Substrat SiC semi-isolasi (resistivitas >10⁵ Ω·cm) memungkinkan integrasi pasif frekuensi tinggi (60 GHz+). |
Peralatan Industri | Sensor suhu tinggi, transformator arus, monitor reaktor nuklir | Substrat benih InSb (celah pita 0,17 eV) memberikan sensitivitas magnetik hingga 300%@10 T. |
Wafer LiTaO₃ - Karakteristik Utama
1. Kinerja Piezoelektrik yang Unggul
· Koefisien piezoelektrik tinggi (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5%) memungkinkan perangkat SAW/BAW frekuensi tinggi dengan kerugian penyisipan <1,5dB untuk filter RF 5G
· Kopling elektromekanis yang sangat baik mendukung desain filter bandwidth lebar (≥5%) untuk aplikasi sub-6GHz dan mmWave
2. Sifat Optik
· Transparansi pita lebar (>70% transmisi dari 400-5000nm) untuk modulator elektro-optik yang mencapai bandwidth >40GHz
· Kerentanan optik nonlinier yang kuat (χ⁽²⁾~30pm/V) memfasilitasi pembangkitan harmonik kedua (SHG) yang efisien dalam sistem laser
3. Stabilitas Lingkungan
· Suhu Curie tinggi (600°C) mempertahankan respons piezoelektrik di lingkungan kelas otomotif (-40°C hingga 150°C)
· Inertness kimia terhadap asam/alkali (pH1-13) memastikan keandalan dalam aplikasi sensor industri
4. Kemampuan Kustomisasi
· Rekayasa orientasi: X-cut (51°), Y-cut (0°), Z-cut (36°) untuk respons piezoelektrik yang disesuaikan
· Pilihan doping: Doping Mg (ketahanan terhadap kerusakan optik), Doping Zn (peningkatan d₃₃)
· Permukaan akhir: Pemolesan siap epitaksial (Ra<0,5nm), metalisasi ITO/Au
Wafer LiTaO₃ - Aplikasi Utama
1. Modul Front-End RF
· Filter 5G NR SAW (Band n77/n79) dengan koefisien suhu frekuensi (TCF) <|-15ppm/°C|
· Resonator BAW pita lebar untuk WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Fotonik Terintegrasi
· Modulator Mach-Zehnder berkecepatan tinggi (>100Gbps) untuk komunikasi optik yang koheren
· Detektor inframerah QWIP dengan panjang gelombang cutoff yang dapat disetel dari 3-14μm
3. Elektronik Otomotif
· Sensor parkir ultrasonik dengan frekuensi operasional >200kHz
· Transduser piezoelektrik TPMS mampu bertahan pada siklus termal -40°C hingga 125°C
4. Sistem Pertahanan
· Filter penerima EW dengan penolakan di luar pita >60dB
· Jendela pencari rudal IR yang memancarkan radiasi MWIR 3-5μm
5. Teknologi Baru
· Transduser kuantum optomekanis untuk konversi gelombang mikro ke optik
· Susunan PMUT untuk pencitraan ultrasonografi medis (resolusi >20MHz)
Wafer LiTaO₃ - Layanan XKH
1. Manajemen Rantai Pasokan
· Pemrosesan boule-to-wafer dengan waktu tunggu 4 minggu untuk spesifikasi standar
· Produksi yang dioptimalkan biayanya memberikan keuntungan harga 10-15% dibandingkan pesaing
2. Solusi Kustom
· Wafering khusus orientasi: 36°±0.5° Y-cut untuk kinerja SAW yang optimal
· Komposisi yang didoping: doping MgO (5mol%) untuk aplikasi optik
Layanan metalisasi: pola elektroda Cr/Au (100/1000Å)
3. Dukungan Teknis
· Karakterisasi material: kurva goyang XRD (FWHM<0,01°), analisis permukaan AFM
· Simulasi perangkat: Pemodelan FEM untuk optimasi desain filter SAW
Kesimpulan
Wafer LiTaO₃ terus memungkinkan kemajuan teknologi di seluruh komunikasi RF, fotonik terintegrasi, dan sensor lingkungan keras. Keahlian material, presisi manufaktur, dan dukungan rekayasa aplikasi XKH membantu pelanggan mengatasi tantangan desain dalam sistem elektronik generasi mendatang.


