Substrat silikon karbida SiC 8 inci tipe 4H-N 0,5 mm kelas produksi, kelas penelitian, dipoles sesuai pesanan.
Fitur utama substrat silikon karbida 8 inci tipe 4H-N meliputi:
1. Kepadatan mikrotubulus: ≤ 0,1/cm² atau lebih rendah, misalnya kepadatan mikrotubulus berkurang secara signifikan hingga kurang dari 0,05/cm² pada beberapa produk.
2. Rasio bentuk kristal: Rasio bentuk kristal 4H-SiC mencapai 100%.
3. Resistivitas: 0,014~0,028 Ω·cm, atau lebih stabil antara 0,015-0,025 Ω·cm.
4. Kekasaran permukaan: CMP Si Face Ra≤0,12nm.
5. Ketebalan: Biasanya 500,0±25μm atau 350,0±25μm.
6. Sudut kemiringan: 25±5° atau 30±5° untuk A1/A2 tergantung pada ketebalannya.
7. Kepadatan dislokasi total: ≤3000/cm².
8. Kontaminasi logam permukaan: ≤1E+11 atom/cm².
9. Pembengkokan dan pelengkungan: ≤ 20μm dan ≤2μm, masing-masing.
Karakteristik ini menjadikan substrat silikon karbida 8 inci memiliki nilai aplikasi penting dalam pembuatan perangkat elektronik suhu tinggi, frekuensi tinggi, dan daya tinggi.
Wafer silikon karbida 8 inci memiliki beberapa aplikasi.
1. Perangkat daya: Wafer SiC banyak digunakan dalam pembuatan perangkat elektronik daya seperti MOSFET daya (transistor efek medan semikonduktor oksida logam), dioda Schottky, dan modul integrasi daya. Karena konduktivitas termal yang tinggi, tegangan tembus yang tinggi, dan mobilitas elektron yang tinggi dari SiC, perangkat ini dapat mencapai konversi daya yang efisien dan berkinerja tinggi dalam lingkungan suhu tinggi, tegangan tinggi, dan frekuensi tinggi.
2. Perangkat optoelektronik: Wafer SiC memainkan peran penting dalam perangkat optoelektronik, digunakan untuk memproduksi fotodetektor, dioda laser, sumber ultraviolet, dll. Sifat optik dan elektronik silikon karbida yang unggul menjadikannya material pilihan, terutama dalam aplikasi yang membutuhkan suhu tinggi, frekuensi tinggi, dan tingkat daya tinggi.
3. Perangkat Frekuensi Radio (RF): Chip SiC juga digunakan untuk memproduksi perangkat RF seperti penguat daya RF, sakelar frekuensi tinggi, sensor RF, dan banyak lagi. Stabilitas termal SiC yang tinggi, karakteristik frekuensi tinggi, dan kerugian yang rendah menjadikannya ideal untuk aplikasi RF seperti komunikasi nirkabel dan sistem radar.
4. Elektronik suhu tinggi: Karena stabilitas termal dan elastisitas suhunya yang tinggi, wafer SiC digunakan untuk memproduksi produk elektronik yang dirancang untuk beroperasi di lingkungan suhu tinggi, termasuk elektronik daya suhu tinggi, sensor, dan pengontrol.
Aplikasi utama substrat silikon karbida 8 inci tipe 4H-N meliputi pembuatan perangkat elektronik suhu tinggi, frekuensi tinggi, dan daya tinggi, terutama di bidang elektronik otomotif, energi surya, pembangkit listrik tenaga angin, lokomotif listrik, server, peralatan rumah tangga, dan kendaraan listrik. Selain itu, perangkat seperti MOSFET SiC dan dioda Schottky telah menunjukkan kinerja yang sangat baik dalam frekuensi switching, percobaan hubung singkat, dan aplikasi inverter, sehingga mendorong penggunaannya dalam elektronika daya.
XKH dapat dikustomisasi dengan ketebalan yang berbeda sesuai dengan kebutuhan pelanggan. Tersedia berbagai tingkat kekasaran permukaan dan perlakuan pemolesan. Berbagai jenis doping (seperti doping nitrogen) didukung. XKH dapat menyediakan dukungan teknis dan layanan konsultasi untuk memastikan pelanggan dapat menyelesaikan masalah dalam proses penggunaan. Substrat silikon karbida 8 inci memiliki keunggulan signifikan dalam hal pengurangan biaya dan peningkatan kapasitas, yang dapat mengurangi biaya per unit chip sekitar 50% dibandingkan dengan substrat 6 inci. Selain itu, peningkatan ketebalan substrat 8 inci membantu mengurangi penyimpangan geometris dan pembengkokan tepi selama pemesinan, sehingga meningkatkan hasil produksi.
Diagram Terperinci













