Wafer SiC 4H-N/6H-N Penelitian produksi Substrat karbida silikon kelas Dummy Dia150mm
Spesifikasi substrat silikon karbida (SiC) berdiameter 6 inci
Nilai | Nol MPD | Produksi | Kelas Penelitian | Kelas Dummy |
Diameter | 150,0 mm±0,25 mm | |||
Ketebalan | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Orientasi Wafer | Pada sumbu: <0001> ± 0,5 ° untuk 4H-SI | |||
Flat Utama | {10-10}±5,0° | |||
Panjang Datar Primer | 47,5 mm±2,5 mm | |||
Pengecualian tepi | ukuran 3mm | |||
TTV/Busur/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Kepadatan Mikropipa | ≤1 cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Resistivitas 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Kekasaran | Polandia Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
#Retakan akibat cahaya intensitas tinggi | Tidak ada | 1 diizinkan, ≤2mm | Panjang kumulatif ≤10mm, panjang tunggal ≤2mm | |
* Pelat heksagonal dengan cahaya intensitas tinggi | Luas kumulatif ≤1% | Luas kumulatif ≤ 2% | Luas kumulatif ≤ 5% | |
*Area politipe dengan cahaya intensitas tinggi | Tidak ada | Luas kumulatif ≤ 2% | Luas kumulatif ≤ 5% | |
*& Goresan akibat cahaya intensitas tinggi | 3 goresan hingga 1 x panjang kumulatif diameter wafer | 5 goresan hingga 1 x panjang kumulatif diameter wafer | 5 goresan hingga 1 x panjang kumulatif diameter wafer | |
Chip tepi | Tidak ada | 3 diizinkan, masing-masing ≤0,5mm | 5 diizinkan, masing-masing ≤1mm | |
Kontaminasi oleh cahaya intensitas tinggi | Tidak ada
|
Penjualan & Layanan Pelanggan
Pembelian Bahan
Departemen pembelian material bertanggung jawab untuk mengumpulkan semua bahan baku yang dibutuhkan untuk memproduksi produk Anda. Ketertelusuran lengkap semua produk dan material, termasuk analisis kimia dan fisika, selalu tersedia.
Kualitas
Selama dan setelah pembuatan atau pemesinan produk Anda, departemen kontrol kualitas terlibat dalam memastikan bahwa semua bahan dan toleransi memenuhi atau melampaui spesifikasi Anda.
Melayani
Kami bangga memiliki staf teknik penjualan dengan pengalaman lebih dari 5 tahun di industri semikonduktor. Mereka terlatih untuk menjawab pertanyaan teknis serta memberikan penawaran harga tepat waktu untuk kebutuhan Anda.
Kami ada di sisi Anda kapan saja saat Anda memiliki masalah, dan menyelesaikannya dalam 10 jam.
Diagram Rinci

