Wafer GaN pada lapisan silikon Epi-layer berukuran 150mm 200mm 6 inci 8 inci Wafer galium nitrida epitaksial
Metode pembuatan
Proses pembuatannya melibatkan penumbuhan lapisan GaN pada substrat safir menggunakan teknik canggih seperti deposisi uap kimia organik-logam (MOCVD) atau epitaksi berkas molekuler (MBE). Proses deposisi dilakukan dalam kondisi terkendali untuk memastikan kualitas kristal tinggi dan film yang seragam.
Aplikasi GaN-On-Sapphire 6 inci: Chip substrat safir 6 inci banyak digunakan dalam komunikasi gelombang mikro, sistem radar, teknologi nirkabel, dan optoelektronik.
Beberapa aplikasi umum meliputi:
1. Penguat daya RF
2. Industri pencahayaan LED
3. Peralatan komunikasi jaringan nirkabel
4. Perangkat elektronik di lingkungan bersuhu tinggi
5. Perangkat optoelektronik
Spesifikasi produk
- Ukuran: Diameter substrat 6 inci (sekitar 150 mm).
- Kualitas permukaan: Permukaan telah dipoles halus untuk menghasilkan kualitas cermin yang sangat baik.
- Ketebalan: Ketebalan lapisan GaN dapat disesuaikan menurut persyaratan spesifik.
- Pengemasan: Substrat dikemas dengan hati-hati dengan bahan anti-statis untuk mencegah kerusakan selama transportasi.
- Tepi pemosisian: Substrat memiliki tepi pemosisian khusus yang memudahkan penyelarasan dan pengoperasian selama persiapan perangkat.
- Parameter lainnya: Parameter khusus seperti ketipisan, resistivitas, dan konsentrasi doping dapat disesuaikan menurut kebutuhan pelanggan.
Dengan sifat materialnya yang unggul dan aplikasi yang beragam, wafer substrat safir berukuran 6 inci merupakan pilihan yang andal untuk pengembangan perangkat semikonduktor berkinerja tinggi di berbagai industri.
Substrat | 6” 1mm <111> tipe-p Si | 6” 1mm <111> tipe-p Si |
Epi TebalRata-rata | ~5um | ~7um |
Epi TebalUnif | <2% | <2% |
Busur | +/-45um | +/-45um |
Retak | <5 mm | <5 mm |
BV Vertikal | >1000V | >1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT TebalRata-rata | 20-30nm | 20-30nm |
Tutup Insitu SiN | 5-60nm | 5-60nm |
konsentrasi 2DEG | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Mobilitas | ~2000cm2/Vs (<2%) | ~2000cm2/Vs (<2%) |
Rsh | <330ohm/persegi (<2%) | <330ohm/persegi (<2%) |
Diagram Rinci

