Substrat SiC 12 Inch Diameter 300mm Ketebalan 750μm Jenis 4H-N dapat disesuaikan
Parameter teknis
Spesifikasi Substrat Karbida Silikon (SiC) 12 inci | |||||
Nilai | Produksi ZeroMPD Kelas (Kelas Z) | Produksi Standar Kelas (Kelas P) | Kelas Dummy (Kelas D) | ||
Diameter | 300 mm~1305 mm | ||||
Ketebalan | 4H-N | 750μm±15μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm±15μm | 750μm±25μm | |||
Orientasi Wafer | Off axis : 4.0° ke arah <1120 >±0.5° untuk 4H-N, On axis : <0001>±0.5° untuk 4H-SI | ||||
Kepadatan Mikropipa | 4H-N | ≤0,4 cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Resistivitas | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Orientasi Datar Utama | {10-10} ±5,0° | ||||
Panjang Datar Primer | 4H-N | Tidak tersedia | |||
4H-SI | Takik | ||||
Pengecualian Tepi | 3 juta | ||||
LTV/TTV/Busur/Warp | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Kekasaran | Polandia Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Retakan Tepi Akibat Cahaya Intensitas Tinggi Pelat Hex dengan Cahaya Intensitas Tinggi Area Politipe dengan Cahaya Intensitas Tinggi Inklusi Karbon Visual Permukaan Silikon Tergores Oleh Cahaya Intensitas Tinggi | Tidak ada Luas kumulatif ≤0,05% Tidak ada Luas kumulatif ≤0,05% Tidak ada | Panjang kumulatif ≤ 20 mm, panjang tunggal ≤ 2 mm Luas kumulatif ≤0,1% Luas kumulatif ≤3% Luas kumulatif ≤3% Panjang kumulatif ≤1×diameter wafer | |||
Chip Tepi Dengan Cahaya Intensitas Tinggi | Tidak diizinkan lebar dan kedalaman ≥0,2 mm | 7 diizinkan, masing-masing ≤1 mm | |||
(TSD) Dislokasi sekrup ulir | ≤500 cm-2 | Tidak tersedia | |||
(BPD) Dislokasi bidang dasar | ≤1000 cm-2 | Tidak tersedia | |||
Kontaminasi Permukaan Silikon Oleh Cahaya Intensitas Tinggi | Tidak ada | ||||
Kemasan | Kaset Multi-wafer atau Wadah Wafer Tunggal | ||||
Catatan: | |||||
1 Batasan cacat berlaku pada seluruh permukaan wafer kecuali area pengecualian tepi. 2Goresan sebaiknya diperiksa pada permukaan Si saja. 3 Data dislokasi hanya berasal dari wafer terukir KOH. |
Fitur Utama
1. Keunggulan Kapasitas Produksi dan Biaya: Produksi massal substrat SiC 12 inci (substrat silikon karbida 12 inci) menandai era baru dalam manufaktur semikonduktor. Jumlah chip yang dapat dihasilkan dari satu wafer mencapai 2,25 kali lipat dari substrat 8 inci, yang secara langsung mendorong peningkatan efisiensi produksi. Umpan balik pelanggan menunjukkan bahwa adopsi substrat 12 inci telah mengurangi biaya produksi modul daya mereka sebesar 28%, menciptakan keunggulan kompetitif yang menentukan di pasar yang kompetitif ini.
2. Sifat Fisik yang Luar Biasa: Substrat SiC 12 inci mewarisi semua keunggulan material silikon karbida - konduktivitas termalnya 3 kali lipat silikon, sementara kekuatan medan tembusnya mencapai 10 kali lipat silikon. Karakteristik ini memungkinkan perangkat berbasis substrat 12 inci untuk beroperasi secara stabil di lingkungan bersuhu tinggi di atas 200°C, sehingga sangat cocok untuk aplikasi berat seperti kendaraan listrik.
3. Teknologi Perlakuan Permukaan: Kami telah mengembangkan proses pemolesan kimia mekanis (CMP) inovatif khusus untuk substrat SiC 12 inci, yang mencapai kerataan permukaan tingkat atom (Ra<0,15nm). Terobosan ini memecahkan tantangan global untuk perlakuan permukaan wafer silikon karbida berdiameter besar, sekaligus mengatasi hambatan untuk pertumbuhan epitaksial berkualitas tinggi.
4. Kinerja Manajemen Termal: Dalam aplikasi praktis, substrat SiC 12 inci menunjukkan kemampuan pembuangan panas yang luar biasa. Data uji menunjukkan bahwa pada kepadatan daya yang sama, perangkat yang menggunakan substrat 12 inci beroperasi pada suhu 40-50°C lebih rendah daripada perangkat berbasis silikon, sehingga memperpanjang masa pakai peralatan secara signifikan.
Aplikasi Utama
1. Ekosistem Kendaraan Energi Baru: Substrat SiC 12 inci (substrat silikon karbida 12 inci) merevolusi arsitektur sistem penggerak kendaraan listrik. Dari pengisi daya onboard (OBC) hingga inverter penggerak utama dan sistem manajemen baterai, peningkatan efisiensi yang dihadirkan oleh substrat 12 inci meningkatkan jangkauan kendaraan sebesar 5-8%. Laporan dari produsen mobil terkemuka menunjukkan bahwa penggunaan substrat 12 inci kami mengurangi kehilangan energi dalam sistem pengisian cepat mereka hingga 62%.
2. Sektor Energi Terbarukan: Pada pembangkit listrik fotovoltaik, inverter berbasis substrat SiC 12 inci tidak hanya memiliki faktor bentuk yang lebih kecil tetapi juga mencapai efisiensi konversi melebihi 99%. Khususnya dalam skenario pembangkitan terdistribusi, efisiensi tinggi ini menghasilkan penghematan kerugian listrik tahunan hingga ratusan ribu yuan bagi operator.
3. Otomasi Industri: Konverter frekuensi yang menggunakan substrat 12 inci menunjukkan kinerja yang sangat baik pada robot industri, peralatan mesin CNC, dan peralatan lainnya. Karakteristik peralihan frekuensi tingginya meningkatkan kecepatan respons motor hingga 30% sekaligus mengurangi interferensi elektromagnetik hingga sepertiga dari solusi konvensional.
4. Inovasi Elektronik Konsumen: Teknologi pengisian daya cepat ponsel pintar generasi mendatang telah mulai mengadopsi substrat SiC 12 inci. Diproyeksikan bahwa produk pengisian daya cepat di atas 65W akan sepenuhnya beralih ke solusi silikon karbida, dengan substrat 12 inci muncul sebagai pilihan yang optimal dari segi biaya dan kinerja.
Layanan Khusus XKH untuk Substrat SiC 12 inci
Untuk memenuhi persyaratan khusus untuk substrat SiC 12 inci (substrat silikon karbida 12 inci), XKH menawarkan dukungan layanan yang komprehensif:
1. Kustomisasi Ketebalan:
Kami menyediakan substrat 12 inci dalam berbagai spesifikasi ketebalan termasuk 725μm untuk memenuhi berbagai kebutuhan aplikasi.
2. Konsentrasi doping:
Produksi kami mendukung berbagai jenis konduktivitas termasuk substrat tipe-n dan tipe-p, dengan kontrol resistivitas presisi dalam kisaran 0,01-0,02Ω·cm.
3. Layanan Pengujian:
Dengan peralatan pengujian tingkat wafer yang lengkap, kami menyediakan laporan inspeksi lengkap.
XKH memahami bahwa setiap pelanggan memiliki kebutuhan unik untuk substrat SiC 12 inci. Oleh karena itu, kami menawarkan model kerja sama bisnis yang fleksibel untuk memberikan solusi paling kompetitif, baik untuk:
· Sampel R&D
· Pembelian produksi volume
Layanan khusus kami memastikan kami dapat memenuhi kebutuhan teknis dan produksi spesifik Anda untuk substrat SiC 12 inci.


