Panggung Bantalan Udara SiC Ultra-Presisi

Deskripsi Singkat:

Seiring dengan evolusi berkelanjutan industri semikonduktor, peralatan pemrosesan dan inspeksi menuntut kinerja yang semakin tinggi. Berdasarkan keahlian yang luas dalam kontrol gerak dan pemosisian tingkat nanometer, kami telah mengembangkan stage bantalan udara ultra-presisi sumbu ganda tipe H planar.

Kirim email kepada kami

Fitur

Diagram Terperinci

Ringkasan

Dirancang dengan struktur keramik silikon karbida (SiC) yang dioptimalkan menggunakan metode elemen hingga dan teknologi bantalan udara terkompensasi, meja ini memberikan akurasi, kekakuan, dan respons dinamis yang luar biasa. Meja ini sangat ideal untuk:

Pemrosesan dan inspeksi semikonduktor
Fabrikasi dan metrologi mikro/nano
Pemotongan dan pemolesan skala nanometer
Pemindaian presisi kecepatan tinggi

Fitur Utama

Rel pemandu bantalan udara SiCuntuk kekakuan dan presisi ultra-tinggi
Dinamika tinggiKecepatan hingga 1 m/s, percepatan hingga 4 g, pengendapan cepat.
Gantry sumbu Y penggerak gandaMemastikan kapasitas beban dan stabilitas yang tinggi.
Opsi encoder: kisi optik atau interferometer laser
Akurasi posisi: ±0,15 μm;pengulangan: ±75 nm
Pengoptimalan perutean kabeluntuk desain yang bersih dan keandalan jangka panjang
Konfigurasi yang dapat disesuaikanuntuk kebutuhan spesifik aplikasi

Desain Presisi Ultra & Arsitektur Penggerak Langsung Tanpa Kontak

Bingkai Keramik SiC: Kekakuan sekitar 5 kali lipat dari paduan aluminium dan ekspansi termal sekitar 5 kali lebih rendah, sehingga menjamin stabilitas kecepatan tinggi dan ketahanan termal.
Bantalan Udara TerkompensasiDesain eksklusif meningkatkan kekakuan, kapasitas beban, dan stabilitas gerakan.
Kinerja DinamisMendukung kecepatan 1 m/s dan akselerasi 4 g, ideal untuk proses dengan throughput tinggi.
Integrasi Tanpa BatasKompatibel dengan sistem isolasi getaran, meja putar, modul kemiringan, dan platform penanganan wafer.
Manajemen KabelRadius tekukan yang terkontrol meminimalkan tegangan untuk masa pakai yang lebih lama.

Motor Linear Tanpa Inti: Gerakan halus tanpa gaya gesekan.
Penggerak Multi-MotorPenempatan motor pada bidang beban meningkatkan kelurusan, kerataan, dan presisi sudut.
Isolasi TermalMotor-motor tersebut terisolasi dari struktur panggung; pendinginan udara atau air opsional untuk siklus kerja tinggi.

Spesifikasi

Model	400-400	500-500	600-600
Sumbu	X (pindai) / Y (langkah)	X (pindai) / Y (langkah)	X (pindai) / Y (langkah)
Perjalanan (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Akurasi (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Keterulangan (nm)	±75	±100	±100
Resolusi (nm)	0.3	0.3	0.3
Kecepatan Maksimum (m/s)	1	1	1
Percepatan (g)	4	4	4
Kelurusan (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilitas (nm)	±5	±5	±5
Beban Maksimum (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Kondisi Pengujian:

Pasokan udara: bersih, kering; titik embun ≤ 0°F; penyaringan partikel ≤ 0,25 μm; atau nitrogen 99,99%.
Akurasi diukur 25 mm di atas pusat panggung pada suhu 20±1 °C, kelembapan relatif 40–60%.

Aplikasi

Litografi semikonduktor, inspeksi, dan penanganan wafer
Fabrikasi mikro/nano dan metrologi presisi
Manufaktur optik dan interferometri kelas atas
Penelitian ilmiah tingkat lanjut dan kedirgantaraan

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ) – Meja Bantalan Udara Silikon Karbida

1. Apa itu panggung bantalan udara?

Platform bantalan udara menggunakan lapisan tipis udara bertekanan di antara platform dan jalur pemandu untuk menyediakangerakan tanpa gesekan, tanpa keausan, dan sangat halusBerbeda dengan bantalan mekanis konvensional, bantalan ini menghilangkan fenomena stick-slip, memberikan akurasi tingkat nanometer, dan mendukung keandalan jangka panjang.

2. Mengapa menggunakan silikon karbida (SiC) untuk struktur panggung?

Kekakuan tinggi: ~5 kali lipat dari paduan aluminium, meminimalkan deformasi selama gerakan dinamis.
Ekspansi termal rendah: ~5 kali lebih rendah daripada aluminium, tetap mempertahankan akurasi di bawah variasi suhu.
Ringan: Kepadatan lebih rendah dibandingkan baja, memungkinkan pengoperasian dengan kecepatan dan akselerasi tinggi.
Stabilitas yang sangat baik: Peredaman dan kekakuan superior untuk pemosisian ultra-presisi.

3. Apakah panggung memerlukan pelumasan atau perawatan?

Tidak diperlukan pelumasan tradisional karena sudah adatidak ada kontak mekanisPerawatan yang direkomendasikan meliputi:

Menyediakanudara bertekanan atau nitrogen yang bersih dan kering
Inspeksi berkala pada filter dan pengering.
Memantau kabel dan sistem pendingin

4. Apa saja persyaratan pasokan udara?

Titik embun: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Penyaringan partikel: ≤ 0,25 μm
Udara bersih dan kering atau nitrogen murni 99,99%.
Tekanan stabil dengan fluktuasi minimal

Tentang Kami

XKH mengkhususkan diri dalam pengembangan, produksi, dan penjualan teknologi tinggi berupa kaca optik khusus dan material kristal baru. Produk kami melayani elektronik optik, elektronik konsumen, dan militer. Kami menawarkan komponen optik Safir, penutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarsa, dan wafer kristal semikonduktor. Dengan keahlian yang mumpuni dan peralatan mutakhir, kami unggul dalam pemrosesan produk non-standar, dengan tujuan menjadi perusahaan teknologi tinggi terkemuka di bidang material optoelektronik.