Pengisap baki keramik silikon karbida Pasokan tabung keramik silikon karbida sintering suhu tinggi pemrosesan khusus
Fitur utama:
1. Baki keramik silikon karbida
- Kekerasan dan ketahanan aus yang tinggi: kekerasannya mendekati berlian, dan dapat menahan keausan mekanis dalam pemrosesan wafer untuk waktu yang lama.
- Konduktivitas termal tinggi dan koefisien ekspansi termal rendah: pembuangan panas cepat dan stabilitas dimensi, menghindari deformasi yang disebabkan oleh tekanan termal.
- Kerataan dan penyelesaian permukaan yang tinggi: Kerataan permukaan mencapai tingkat mikron, memastikan kontak penuh antara wafer dan cakram, mengurangi kontaminasi dan kerusakan.
Stabilitas kimia: Ketahanan korosi yang kuat, cocok untuk proses pembersihan basah dan penggoresan dalam manufaktur semikonduktor.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tahan suhu tinggi: Dapat bekerja di lingkungan suhu tinggi di atas 1600°C untuk waktu yang lama, cocok untuk proses suhu tinggi semikonduktor.
Ketahanan korosi yang sangat baik: tahan terhadap asam, alkali dan berbagai pelarut kimia, cocok untuk lingkungan proses yang keras.
- Kekerasan tinggi dan ketahanan aus: tahan terhadap erosi partikel dan keausan mekanis, memperpanjang masa pakai.
- Konduktivitas termal yang tinggi dan koefisien muai panas yang rendah: konduksi panas yang cepat dan stabilitas dimensi, mengurangi deformasi atau retak yang disebabkan oleh tekanan termal.
Parameter Produk：
Parameter baki keramik silikon karbida:
| (Sifat material) | (Satuan) | (ssic) | |
| (kandungan SiC) | (Berat)% | >99 | |
| (Ukuran butiran rata-rata) | mikron | 4-10 | |
| (Kepadatan) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porositas tampak) | Vo1% | <0,5 | |
| (Kekerasan Vickers) | HV 0,5 | IPK | 28 |
| *() Kekuatan lentur* (tiga poin) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Kekuatan tekan) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus Elastisitas) | 20ºC | IPK | 420 |
| (Ketangguhan patah) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Konduktivitas termal) | 20°ºC | L/(m*K) | 160 |
| (Resistivitas) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Koefisien ekspansi termal) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Suhu operasi maksimum) | oºC | tahun 1700 | |
Parameter tabung keramik silikon karbida:
| Barang | Indeks |
| α-SIC | 99% menit |
| Porositas Tampak | 16% maks |
| Kepadatan Massal | 2,7g/cm3 menit |
| Kekuatan Tekuk pada Suhu Tinggi | 100 Mpa menit |
| Koefisien Ekspansi Termal | K-1 4,7x10-6 |
| Koefisien Konduktivitas Termal (1400ºC) | 24 W/mk |
| Suhu Kerja Maks. | 1650ºC |
Aplikasi utama:
1. Pelat keramik silikon karbida
- Pemotongan dan pemolesan wafer: berfungsi sebagai platform bantalan untuk memastikan presisi dan stabilitas tinggi selama pemotongan dan pemolesan.
- Proses litografi: Wafer dipasang dalam mesin litografi untuk memastikan posisi presisi tinggi selama pemaparan.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP): berfungsi sebagai platform pendukung untuk bantalan pemoles, memberikan tekanan dan distribusi panas yang seragam.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tabung tungku suhu tinggi: digunakan untuk peralatan suhu tinggi seperti tungku difusi dan tungku oksidasi untuk membawa wafer untuk perawatan proses suhu tinggi.
- Proses CVD/PVD: Sebagai tabung bantalan di ruang reaksi, tahan terhadap suhu tinggi dan gas korosif.
- Aksesori peralatan semikonduktor: untuk penukar panas, pipa gas, dll., untuk meningkatkan efisiensi manajemen termal peralatan.
XKH menawarkan rangkaian lengkap layanan kustom untuk baki keramik silikon karbida, mangkuk penghisap, dan tabung keramik silikon karbida. Baki dan mangkuk penghisap keramik silikon karbida, XKH, dapat dikustomisasi sesuai kebutuhan pelanggan dengan berbagai ukuran, bentuk, dan kekasaran permukaan, serta mendukung pelapisan khusus untuk meningkatkan ketahanan aus dan korosi. Untuk tabung keramik silikon karbida, XKH dapat menyesuaikan berbagai diameter dalam, diameter luar, panjang, dan struktur kompleks (seperti tabung berbentuk atau tabung berpori), serta menyediakan proses pemolesan, pelapisan anti-oksidasi, dan perawatan permukaan lainnya. XKH memastikan bahwa pelanggan dapat memanfaatkan sepenuhnya keunggulan kinerja produk keramik silikon karbida untuk memenuhi persyaratan yang menuntut di bidang manufaktur kelas atas seperti semikonduktor, LED, dan fotovoltaik.
Diagram Rinci
