Pengisap baki keramik silikon karbida, pasokan tabung keramik silikon karbida, sintering suhu tinggi, pemrosesan khusus.
Fitur utama:
1. Baki keramik silikon karbida
- Kekerasan dan ketahanan aus yang tinggi: kekerasannya mendekati berlian, dan dapat menahan keausan mekanis dalam pemrosesan wafer dalam jangka waktu lama.
- Konduktivitas termal tinggi dan koefisien ekspansi termal rendah: pembuangan panas cepat dan stabilitas dimensi, menghindari deformasi yang disebabkan oleh tegangan termal.
- Kerataan dan penyelesaian permukaan yang tinggi: Kerataan permukaan mencapai tingkat mikron, memastikan kontak penuh antara wafer dan disk, mengurangi kontaminasi dan kerusakan.
Stabilitas kimia: Ketahanan korosi yang kuat, cocok untuk proses pembersihan basah dan etsa dalam pembuatan semikonduktor.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Ketahanan suhu tinggi: Dapat bekerja dalam lingkungan suhu tinggi di atas 1600°C untuk waktu yang lama, cocok untuk proses suhu tinggi semikonduktor.
Ketahanan korosi yang sangat baik: tahan terhadap asam, basa, dan berbagai pelarut kimia, cocok untuk lingkungan proses yang keras.
- Kekerasan dan ketahanan aus yang tinggi: tahan terhadap erosi partikel dan keausan mekanis, memperpanjang masa pakai.
- Konduktivitas termal tinggi dan koefisien ekspansi termal rendah: penghantaran panas yang cepat dan stabilitas dimensi, mengurangi deformasi atau retak yang disebabkan oleh tegangan termal.
Parameter Produk:
Parameter baki keramik silikon karbida:
| (Sifat material) | (Satuan) | (ssic) | |
| (Kandungan SiC) | (Berat)% | >99 | |
| (Ukuran butir rata-rata) | mikron | 4-10 | |
| (Kepadatan) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porositas tampak) | Vo1% | <0,5 | |
| (Kekerasan Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Kekuatan lentur* (tiga poin) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Kekuatan tekan) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus Elastisitas) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Ketahanan terhadap patahan) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Konduktivitas termal) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Resistivitas) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Koefisien ekspansi termal) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Suhu operasi maksimum) | oºC | tahun 1700 | |
Parameter tabung keramik silikon karbida:
| Barang-barang | Indeks |
| α-SIC | minimal 99% |
| Porositas Tampak | Maksimum 16% |
| Kepadatan Massal | 2,7 g/cm3 min. |
| Kekuatan Lentur pada Suhu Tinggi | Tekanan minimum 100 MPa |
| Koefisien Ekspansi Termal | K-1 4.7x10 -6 |
| Koefisien Konduktivitas Termal (1400ºC) | 24 W/mk |
| Suhu Kerja Maksimum | 1650ºC |
Aplikasi utama:
1. Pelat keramik silikon karbida
- Pemotongan dan pemolesan wafer: berfungsi sebagai platform bantalan untuk memastikan presisi dan stabilitas tinggi selama pemotongan dan pemolesan.
- Proses litografi: Wafer dipasang pada mesin litografi untuk memastikan posisi yang sangat presisi selama proses pemaparan.
- Pemolesan Mekanik Kimia (CMP): berfungsi sebagai platform pendukung untuk bantalan pemoles, memberikan tekanan dan distribusi panas yang seragam.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tabung tungku suhu tinggi: digunakan untuk peralatan suhu tinggi seperti tungku difusi dan tungku oksidasi untuk membawa wafer untuk perlakuan proses suhu tinggi.
- Proses CVD/PVD: Sebagai tabung bantalan di ruang reaksi, tahan terhadap suhu tinggi dan gas korosif.
- Aksesoris peralatan semikonduktor: untuk penukar panas, pipa gas, dll., untuk meningkatkan efisiensi manajemen termal peralatan.
XKH menawarkan berbagai layanan kustomisasi lengkap untuk baki keramik silikon karbida, cangkir hisap, dan tabung keramik silikon karbida. Untuk baki dan cangkir hisap keramik silikon karbida, XKH dapat menyesuaikannya sesuai kebutuhan pelanggan dengan berbagai ukuran, bentuk, dan kekasaran permukaan, serta mendukung perawatan pelapisan khusus untuk meningkatkan ketahanan aus dan ketahanan korosi; Untuk tabung keramik silikon karbida, XKH dapat menyesuaikan berbagai diameter dalam, diameter luar, panjang, dan struktur kompleks (seperti tabung berbentuk atau tabung berpori), serta menyediakan pemolesan, pelapisan anti-oksidasi, dan proses perawatan permukaan lainnya. XKH memastikan bahwa pelanggan dapat memanfaatkan sepenuhnya manfaat kinerja produk keramik silikon karbida untuk memenuhi persyaratan yang menuntut dari bidang manufaktur kelas atas seperti semikonduktor, LED, dan fotovoltaik.
Diagram Terperinci
