Pengisap baki keramik silikon karbida Pasokan tabung keramik silikon karbida sintering suhu tinggi pemrosesan khusus

Deskripsi Singkat:

Baki keramik silikon karbida dan tabung keramik silikon karbida merupakan material berkinerja tinggi yang sangat diperlukan dalam produksi semikonduktor. Baki keramik silikon karbida terutama digunakan dalam pemrosesan wafer tetap dan bantalan, untuk memastikan stabilitas proses presisi tinggi; Tabung keramik silikon karbida banyak digunakan dalam tabung tungku suhu tinggi, tabung tungku difusi, dan skenario lainnya untuk menahan lingkungan ekstrem dan mempertahankan manajemen termal yang efisien. Keduanya didasarkan pada silikon karbida sebagai material inti, yang telah menjadi komponen utama dalam industri semikonduktor karena sifat fisik dan kimianya yang sangat baik.

Kirim email ke kami

Detail Produk

Label Produk

Fitur utama:

1. Baki keramik silikon karbida
- Kekerasan dan ketahanan aus yang tinggi: kekerasannya mendekati berlian, dan dapat menahan keausan mekanis dalam pemrosesan wafer untuk waktu yang lama.
- Konduktivitas termal yang tinggi dan koefisien ekspansi termal yang rendah: pembuangan panas yang cepat dan stabilitas dimensi, menghindari deformasi yang disebabkan oleh tekanan termal.
- Kerataan dan penyelesaian permukaan yang tinggi: Kerataan permukaan mencapai tingkat mikron, memastikan kontak penuh antara wafer dan cakram, mengurangi kontaminasi dan kerusakan.
Stabilitas kimia: Ketahanan korosi yang kuat, cocok untuk proses pembersihan basah dan etsa dalam manufaktur semikonduktor.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tahan suhu tinggi: Dapat bekerja di lingkungan suhu tinggi di atas 1600°C untuk waktu yang lama, cocok untuk proses suhu tinggi semikonduktor.
Ketahanan korosi yang sangat baik: tahan terhadap asam, alkali dan berbagai pelarut kimia, cocok untuk lingkungan proses yang keras.
- Kekerasan tinggi dan ketahanan aus: tahan terhadap erosi partikel dan keausan mekanis, memperpanjang masa pakai.
- Konduktivitas termal yang tinggi dan koefisien ekspansi termal yang rendah: konduksi panas yang cepat dan stabilitas dimensi, mengurangi deformasi atau retak yang disebabkan oleh tekanan termal.

Parameter Produk：

Parameter baki keramik silikon karbida:

(Sifat material)		(Satuan)	(ssik)
(kandungan SiC)		(Berat)%	>99
(Ukuran butiran rata-rata)		mikron	4-10
(Kepadatan)		kg/dm3	>3.14
(Porositas tampak)		Suara 1%	<0,5
(Kekerasan Vickers)	HV 0,5	IPK	28
() Kekuatan lentur (tiga poin)	20ºC	MPa	450
(Kekuatan tekan)	20ºC	MPa	3900
(Modulus Elastisitas)	20ºC	IPK	420
(Ketahanan terhadap patah tulang)		MPa/m2%	3.5
(Konduktivitas termal)	20°ºC	L/(m*K)	160
(Resistivitas)	20°ºC	Ohm.cm	106-108
(Koefisien ekspansi termal)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Suhu operasi maksimum)		oºC	tahun 1700

Parameter tabung keramik silikon karbida:

Barang	Indeks
α-SIC	99% menit
Porositas Tampak	16% maks
Kepadatan Massal	2,7 g/cm3 menit
Kekuatan Tekuk pada Suhu Tinggi	100 Mpa menit
Koefisien Ekspansi Termal	K-1 4,7x10-6
Koefisien Konduktivitas Termal (1400ºC)	24 W/mk
Suhu Kerja Maks.	1650ºC

Aplikasi utama:

1. Pelat keramik silikon karbida
- Pemotongan dan pemolesan wafer: berfungsi sebagai platform bantalan untuk memastikan presisi dan stabilitas tinggi selama pemotongan dan pemolesan.
- Proses litografi: Wafer dipasang di mesin litografi untuk memastikan posisi presisi tinggi selama pemaparan.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP): berfungsi sebagai platform pendukung untuk bantalan pemoles, memberikan tekanan dan distribusi panas yang seragam.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tabung tungku suhu tinggi: digunakan untuk peralatan suhu tinggi seperti tungku difusi dan tungku oksidasi untuk membawa wafer untuk perawatan proses suhu tinggi.
- Proses CVD/PVD: Sebagai tabung bantalan di ruang reaksi, tahan terhadap suhu tinggi dan gas korosif.
- Aksesori peralatan semikonduktor: untuk penukar panas, pipa gas, dll., untuk meningkatkan efisiensi manajemen termal peralatan.
XKH menawarkan berbagai layanan kustom untuk baki keramik silikon karbida, mangkuk penghisap, dan tabung keramik silikon karbida. Baki keramik silikon karbida dan mangkuk penghisap, XKH dapat disesuaikan menurut kebutuhan pelanggan dengan berbagai ukuran, bentuk, dan kekasaran permukaan, serta mendukung perawatan pelapisan khusus, meningkatkan ketahanan aus dan ketahanan korosi; Untuk tabung keramik silikon karbida, XKH dapat menyesuaikan berbagai diameter dalam, diameter luar, panjang, dan struktur kompleks (seperti tabung berbentuk atau tabung berpori), serta menyediakan pemolesan, pelapisan anti-oksidasi, dan proses perawatan permukaan lainnya. XKH memastikan bahwa pelanggan dapat memanfaatkan sepenuhnya manfaat kinerja produk keramik silikon karbida untuk memenuhi persyaratan yang menuntut dari bidang manufaktur kelas atas seperti semikonduktor, LED, dan fotovoltaik.