Silikon karbida keramik baki pengisap silikon karbida tabung keramik pasokan suhu suhu tinggi pemrosesan khusus

Silikon karbida keramik baki pengisap silikon karbida tabung keramik pasokan tabung suhu tinggi sintering pemrosesan kustom fitur gambar

Deskripsi Singkat:

Baki keramik silikon karbida dan tabung keramik silikon karbida adalah bahan kinerja tinggi yang sangat diperlukan dalam manufaktur semikonduktor. Baki keramik silikon karbida terutama digunakan dalam pemrosesan wafer tetap dan bantalan, untuk memastikan stabilitas proses presisi tinggi; Tabung keramik silikon karbida banyak digunakan dalam tabung tungku suhu tinggi, tabung tungku difusi dan skenario lainnya untuk menahan lingkungan ekstrem dan mempertahankan manajemen termal yang efisien. Keduanya didasarkan pada silikon karbida sebagai bahan inti, yang telah menjadi komponen kunci dalam industri semikonduktor karena sifat fisik dan kimianya yang sangat baik.

Kirim Email ke Kami

Detail Produk

Tag produk

Fitur Utama:

1. Baki keramik silikon karbida
- Kekerasan tinggi dan ketahanan aus: Kekerasannya dekat dengan berlian, dan dapat menahan keausan mekanis dalam pemrosesan wafer untuk waktu yang lama.
- Konduktivitas termal tinggi dan koefisien ekspansi termal rendah: disipasi panas cepat dan stabilitas dimensi, menghindari deformasi yang disebabkan oleh tegangan termal.
- Kekatukan tinggi dan akhir permukaan: Kerataan permukaan mencapai tingkat mikron, memastikan kontak penuh antara wafer dan disk, mengurangi kontaminasi dan kerusakan.
Stabilitas Kimia: Resistensi korosi yang kuat, cocok untuk pembersihan basah dan proses etsa dalam manufaktur semikonduktor.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Resistensi suhu tinggi: Ini dapat bekerja di lingkungan suhu tinggi di atas 1600 ° C untuk waktu yang lama, cocok untuk proses suhu tinggi semikonduktor.
Resistensi korosi yang sangat baik: Tahan terhadap asam, alkali dan berbagai pelarut kimia, cocok untuk lingkungan proses yang keras.
- Kekerasan tinggi dan ketahanan aus: tahan erosi partikel dan keausan mekanis, memperpanjang masa pakai.
- Konduktivitas termal yang tinggi dan koefisien rendah ekspansi termal: konduksi cepat panas dan stabilitas dimensi, mengurangi deformasi atau retak yang disebabkan oleh tegangan termal.

Parameter Produk ：

Parameter baki keramik silikon karbida:

(Properti material)		(Satuan)	(SSIC)
(Konten sic)		(Wt)%	> 99
(Ukuran butir rata -rata)		mikron	4-10
(Kepadatan)		kg/dm3	> 3.14
(Porositas yang jelas)		Vo1%	<0,5
(Kekerasan Vickers)	HV 0,5	IPK	28
() Kekuatan lentur (tiga poin)	20ºC	MPa	450
(Kekuatan tekan)	20ºC	MPa	3900
(Modulus elastis)	20ºC	IPK	420
(Ketangguhan Fraktur)		MPA/M '%	3.5
(Konduktivitas termal)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Resistivitas)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Koefisien Ekspansi Termal)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Suhu operasi maksimum)		OºC	1700

Parameter tabung keramik silikon karbida:

Item	Indeks
α-sic	99% Min
Porositas yang jelas	16% maks
Kepadatan curah	2.7g/cm3 mnt
Kekuatan menekuk pada suhu tinggi	100 MPa Min
Koefisien ekspansi termal	K -1 4.7x10 -6
Koefisien Konduktivitas Termal (1400ºC)	24 w/mk
Max. Suhu kerja	1650ºC

Aplikasi utama:

1. Piring keramik silikon karbida
- Pemotongan dan pemolesan wafer: berfungsi sebagai platform bantalan untuk memastikan presisi dan stabilitas tinggi selama pemotongan dan pemolesan.
- Proses litografi: Wafer ditetapkan dalam mesin litografi untuk memastikan posisi presisi tinggi selama paparan.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP): bertindak sebagai platform pendukung untuk bantalan pemolesan, memberikan tekanan yang seragam dan distribusi panas.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tabung tungku suhu tinggi: Digunakan untuk peralatan suhu tinggi seperti tungku difusi dan tungku oksidasi untuk membawa wafer untuk perawatan proses suhu tinggi.
- Proses CVD/PVD: Sebagai tabung bantalan di ruang reaksi, tahan terhadap suhu tinggi dan gas korosif.
- Aksesori Peralatan Semikonduktor: Untuk penukar panas, pipa gas, dll., Untuk meningkatkan efisiensi manajemen termal peralatan.
XKH menawarkan berbagai layanan khusus untuk baki keramik silikon karbida, gelas hisap dan tabung keramik silikon karbida. Baki keramik silikon karbida dan gelas hisap, XKH dapat disesuaikan sesuai dengan kebutuhan pelanggan dengan berbagai ukuran, bentuk dan kekasaran permukaan, dan mendukung perawatan pelapisan khusus, meningkatkan ketahanan aus dan ketahanan korosi; Untuk tabung keramik silikon karbida, XKH dapat menyesuaikan berbagai diameter dalam, diameter luar, panjang dan struktur kompleks (seperti tabung berbentuk atau tabung berpori), dan memberikan pemolesan, lapisan anti-oksidasi dan proses pengolahan permukaan lainnya. XKH memastikan bahwa pelanggan dapat memanfaatkan sepenuhnya manfaat kinerja produk keramik silikon karbida untuk memenuhi persyaratan yang menuntut dari bidang manufaktur kelas atas seperti semikonduktor, LED dan fotovoltaik.