Dayung Kantilever Silikon Karbida (SiC Cantilever Paddle)

Gambar Unggulan Dayung Kantilever Silikon Karbida (Dayung Kantilever SiC)

Deskripsi Singkat:

Kirim email kepada kami

Fitur

Diagram Terperinci

Gambaran Umum Produk

Dayung kantilever silikon karbida, yang diproduksi dari silikon karbida ikatan reaksi berkinerja tinggi (RBSiC), adalah komponen penting yang digunakan dalam sistem pemuatan dan penanganan wafer untuk aplikasi semikonduktor dan fotovoltaik.
Dibandingkan dengan paddle kuarsa atau grafit tradisional, paddle kantilever SiC menawarkan kekuatan mekanik yang unggul, kekerasan tinggi, ekspansi termal rendah, dan ketahanan korosi yang luar biasa. Paddle ini mempertahankan stabilitas struktural yang sangat baik pada suhu tinggi, memenuhi persyaratan ketat untuk ukuran wafer besar, masa pakai yang lebih lama, dan kontaminasi ultra-rendah.

Dengan perkembangan berkelanjutan proses semikonduktor menuju diameter wafer yang lebih besar, throughput yang lebih tinggi, dan lingkungan pemrosesan yang lebih bersih, dayung kantilever SiC secara bertahap menggantikan material konvensional, menjadi pilihan utama untuk tungku difusi, LPCVD, dan peralatan suhu tinggi terkait.

Fitur Produk

Stabilitas Suhu Tinggi yang Sangat Baik
- Beroperasi dengan andal pada suhu 1000–1300℃ tanpa deformasi.
- Suhu operasional maksimum hingga 1380℃.
Kapasitas Menahan Beban Tinggi
- Kekuatan lentur hingga 250–280 MPa, jauh lebih tinggi daripada dayung kuarsa.
- Mampu menangani wafer berdiameter besar (300 mm ke atas).
Masa Pakai Lebih Lama & Perawatan Rendah
- Koefisien ekspansi termal rendah (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), sangat cocok dengan material pelapis LPCVD.
- Mengurangi retakan dan pengelupasan akibat tekanan, sehingga memperpanjang siklus pembersihan dan perawatan secara signifikan.
Ketahanan Korosi & Kemurnian
- Ketahanan yang sangat baik terhadap asam dan basa.
- Mikrostruktur padat dengan porositas terbuka <0,1%, meminimalkan pembentukan partikel dan pelepasan pengotor.
Desain yang Kompatibel dengan Otomatisasi
- Geometri penampang yang stabil dengan akurasi dimensi yang tinggi.
- Terintegrasi secara mulus dengan sistem pemuatan dan pembongkaran wafer robotik, memungkinkan produksi yang sepenuhnya otomatis.

Sifat Fisik & Kimia

Barang	Satuan	Data
Suhu Layanan Maksimum	℃	tahun 1380
Kepadatan	g/cm³	3.04 – 3.08
Porositas Terbuka	%	< 0,1
Kekuatan Lentur	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Modulus Elastisitas	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Konduktivitas Termal	W/m·K	45 (1200℃)
Koefisien Ekspansi Termal	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Kekerasan Vickers	HV2	≥ 2100
Ketahanan terhadap Asam/Basa	-	Bagus sekali

Panjang standar:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Ukuran khusus tersedia berdasarkan permintaan.

Aplikasi

Industri Semikonduktor
- LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
- Proses difusi (fosfor, boron, dll.)
- Oksidasi termal
Industri Fotovoltaik
- Difusi dan pelapisan wafer polisilikon dan monokristalin
- Pemanasan dan pasivasi suhu tinggi
Bidang Lainnya
- Lingkungan korosif bersuhu tinggi
- Sistem penanganan wafer presisi yang membutuhkan masa pakai lama dan kontaminasi rendah.

Manfaat bagi Pelanggan

Pengurangan Biaya Operasional– Masa pakai lebih lama dibandingkan dengan dayung kuarsa, meminimalkan waktu henti dan frekuensi penggantian.
Hasil yang Lebih Tinggi– Kontaminasi yang sangat rendah memastikan kebersihan permukaan wafer dan mengurangi tingkat kerusakan.
Tahan Masa Depan– Kompatibel dengan ukuran wafer besar dan proses semikonduktor generasi berikutnya.
Peningkatan Produktivitas– Sepenuhnya kompatibel dengan sistem otomatisasi robotik, mendukung produksi volume tinggi.

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ) – Dayung Kantilever Silikon Karbida

Q1: Apa itu dayung kantilever silikon karbida?
A: Ini adalah komponen penyangga dan penanganan wafer yang terbuat dari silikon karbida terikat reaksi (RBSiC). Komponen ini banyak digunakan dalam tungku difusi, LPCVD, dan proses semikonduktor dan fotovoltaik suhu tinggi lainnya.

Q2: Mengapa memilih SiC dibandingkan paddle kuarsa?
A: Dibandingkan dengan paddle kuarsa, paddle SiC menawarkan:

Kekuatan mekanik dan kapasitas menahan beban yang lebih tinggi
Stabilitas termal yang lebih baik pada suhu hingga 1380℃
Masa pakai yang jauh lebih lama dan siklus perawatan yang lebih singkat.
Mengurangi produksi partikel dan risiko kontaminasi.
Kompatibilitas dengan ukuran wafer yang lebih besar (300 mm ke atas)

Q3: Ukuran wafer apa saja yang dapat didukung oleh kantilever paddle SiC?
A: Pengaduk standar tersedia untuk sistem tungku 2378 mm, 2550 mm, dan 2660 mm. Dimensi khusus tersedia untuk mendukung wafer hingga 300 mm dan lebih besar.

Tentang Kami

XKH mengkhususkan diri dalam pengembangan, produksi, dan penjualan teknologi tinggi berupa kaca optik khusus dan material kristal baru. Produk kami melayani elektronik optik, elektronik konsumen, dan militer. Kami menawarkan komponen optik Safir, penutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarsa, dan wafer kristal semikonduktor. Dengan keahlian yang mumpuni dan peralatan mutakhir, kami unggul dalam pemrosesan produk non-standar, dengan tujuan menjadi perusahaan teknologi tinggi terkemuka di bidang material optoelektronik.