Pelat baki keramik SiC grafit dengan lapisan CVD SiC untuk peralatan

Deskripsi Singkat:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. memproduksi disk etsa semikonduktor Φ380mm–Φ600mm, disk bantalan wafer, baki silikon karbida, baki SIC, baki silikon karbida, baki etsa ICP, baki etsa, kemurnian silikon karbida > 99,9%, masa pakai baki SIC empat kali lipat dari baki CVD berbasis grafit, penggunaan jangka panjang tanpa deformasi, Tahan terhadap asam FH, korosi H2So4 pekat.

Kirim email ke kami

Detil Produk

Label Produk

Keramik silikon karbida tidak hanya digunakan dalam tahap pengendapan film tipis, seperti epitaksi atau MOCVD, atau dalam pemrosesan wafer, yang intinya adalah baki pembawa wafer untuk MOCVD terlebih dahulu dikenai lingkungan pengendapan, dan oleh karena itu sangat tahan terhadap panas dan korosi. Pembawa berlapis SiC juga memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi termal yang sangat baik.

Pembawa wafer Deposisi Uap Kimia Murni Silikon Karbida (CVD SiC) untuk pemrosesan Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) bersuhu tinggi.

Pembawa wafer CVD SiC murni jauh lebih unggul daripada pembawa wafer konvensional yang digunakan dalam proses ini, yaitu grafit dan dilapisi dengan lapisan CVD SiC. pembawa berlapis grafit ini tidak dapat menahan suhu tinggi (1100 hingga 1200 derajat Celcius) yang diperlukan untuk pengendapan GaN dari led biru dan putih kecerahan tinggi saat ini. Temperatur yang tinggi menyebabkan lapisan tersebut membentuk lubang-lubang kecil yang melaluinya bahan kimia proses mengikis grafit di bawahnya. Partikel grafit kemudian terkelupas dan mencemari GaN, menyebabkan pembawa wafer yang dilapisi harus diganti.

CVD SiC memiliki kemurnian 99,999% atau lebih dan memiliki konduktivitas termal dan ketahanan guncangan termal yang tinggi. Oleh karena itu, ia dapat tahan terhadap suhu tinggi dan lingkungan keras dari produksi LED kecerahan tinggi. Ini adalah bahan monolitik padat yang mencapai kepadatan teoritis, menghasilkan partikel minimal, dan menunjukkan ketahanan korosi dan erosi yang sangat tinggi. Bahan tersebut dapat mengubah opacity dan konduktivitas tanpa menimbulkan pengotor logam. Pembawa wafer biasanya berdiameter 17 inci dan dapat menampung hingga 40 wafer berukuran 2-4 inci.