Lengan Garpu Keramik SiC / Efektor Ujung – Penanganan Presisi Canggih untuk Manufaktur Semikonduktor

Deskripsi Singkat:

Lengan Garpu Keramik SiC, yang sering disebut sebagai Efektor Ujung Keramik, adalah komponen penanganan presisi berkinerja tinggi yang khusus dikembangkan untuk pengangkutan, penyelarasan, dan pemosisian wafer di industri berteknologi tinggi, khususnya dalam produksi semikonduktor dan fotovoltaik. Dibuat menggunakan keramik silikon karbida dengan kemurnian tinggi, komponen ini menggabungkan kekuatan mekanis yang luar biasa, ekspansi termal yang sangat rendah, dan ketahanan yang unggul terhadap guncangan termal dan korosi.

Kirim email ke kami

Fitur

Diagram Rinci

Ikhtisar Produk

Berbeda dengan efektor ujung tradisional yang terbuat dari aluminium, baja tahan karat, atau bahkan kuarsa, efektor ujung keramik SiC menawarkan kinerja tak tertandingi di ruang vakum, ruang bersih, dan lingkungan pemrosesan yang keras, menjadikannya bagian penting dari robot penanganan wafer generasi mendatang. Dengan meningkatnya permintaan akan produksi bebas kontaminasi dan toleransi yang lebih ketat dalam pembuatan cip, penggunaan efektor ujung keramik dengan cepat menjadi standar industri.

Prinsip Pembuatan

PembuatanEfektor Ujung Keramik SiCmelibatkan serangkaian proses presisi tinggi dan kemurnian tinggi yang menjamin kinerja dan daya tahan. Dua proses utama yang biasanya digunakan:

Karbida Silikon Terikat Reaksi (RB-SiC)

Dalam proses ini, preform yang terbuat dari bubuk silikon karbida dan pengikat diinfiltrasi dengan silikon cair pada suhu tinggi (~1500°C), yang bereaksi dengan karbon sisa untuk membentuk komposit SiC-Si yang padat dan kaku. Metode ini menawarkan kontrol dimensi yang sangat baik dan hemat biaya untuk produksi skala besar.

Karbida Silikon Sinter Tanpa Tekanan (SSiC)

SSiC dibuat dengan mensinter bubuk SiC ultra-halus dan bersuhu tinggi pada suhu yang sangat tinggi (>2000°C) tanpa menggunakan aditif atau fase pengikat. Hal ini menghasilkan produk dengan densitas hampir 100% dan sifat mekanik serta termal tertinggi yang tersedia di antara material SiC. SSiC ideal untuk aplikasi penanganan wafer ultra-kritis.

Pasca-Pemrosesan

Pemesinan CNC Presisi: Mencapai kerataan dan paralelisme yang tinggi.
Penyelesaian Permukaan: Pemolesan berlian mengurangi kekasaran permukaan hingga <0,02 µm.
Inspeksi:Interferometri optik, CMM, dan pengujian non-destruktif digunakan untuk memverifikasi setiap bagian.

Langkah-langkah ini menjamin bahwaEfektor ujung SiCmemberikan akurasi penempatan wafer yang konsisten, planaritas yang sangat baik, dan pembentukan partikel yang minimal.

Fitur dan Manfaat Utama

Fitur	Keterangan
Kekerasan Ultra Tinggi	Kekerasan Vickers > 2500 HV, tahan terhadap keausan dan pecah.
Ekspansi Termal Rendah	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, memungkinkan stabilitas dimensi dalam siklus termal.
Kelembaman Kimia	Tahan terhadap HF, HCl, gas plasma, dan zat korosif lainnya.
Ketahanan Guncangan Termal yang Sangat Baik	Cocok untuk pemanasan/pendinginan cepat dalam sistem vakum dan tungku.
Kekakuan dan Kekuatan Tinggi	Mendukung lengan garpu kantilever yang panjang tanpa defleksi.
Keluaran Gas Rendah	Ideal untuk lingkungan vakum ultra tinggi (UHV).
Siap untuk Ruang Bersih Kelas 1 ISO	Operasi bebas partikel memastikan integritas wafer.

Aplikasi

Lengan Garpu/Efektor Ujung Keramik SiC banyak digunakan dalam industri yang membutuhkan presisi, kebersihan, dan ketahanan kimia yang ekstrem. Skenario aplikasi utama meliputi:

Manufaktur Semikonduktor

Pemuatan/pembongkaran wafer dalam sistem deposisi (CVD, PVD), etsa (RIE, DRIE), dan pembersihan.
Transportasi wafer robotik antara FOUP, kaset, dan peralatan proses.
Penanganan suhu tinggi selama pemrosesan termal atau anil.

Produksi Sel Fotovoltaik

Pengangkutan halus wafer silikon rapuh atau substrat surya dalam jalur otomatis.

Industri Layar Panel Datar (FPD)

Memindahkan panel kaca atau substrat besar di lingkungan produksi OLED/LCD.

Semikonduktor Majemuk / MEMS

Digunakan dalam jalur fabrikasi GaN, SiC, dan MEMS di mana pengendalian kontaminasi dan akurasi posisi sangat penting.

Peran efektor ujungnya sangat penting dalam memastikan penanganan yang stabil dan bebas cacat selama operasi yang sensitif.

Kemampuan Kustomisasi

Kami menawarkan kustomisasi yang luas untuk memenuhi berbagai persyaratan peralatan dan proses:

Desain Garpu: Tata letak dua cabang, multi-jari, atau tingkat terpisah.
Kompatibilitas Ukuran Wafer: Dari wafer 2” hingga 12”.
Antarmuka Pemasangan: Kompatibel dengan lengan robot OEM.
Ketebalan & Toleransi Permukaan: Kerataan tingkat mikron dan pembulatan tepi tersedia.
Fitur Anti Selip: Tekstur permukaan atau pelapis opsional untuk pegangan wafer yang aman.

Setiapefektor ujung keramikdirancang bersama dengan klien untuk memastikan kesesuaian yang tepat dengan perubahan perkakas yang minimal.

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)

Q1: Bagaimana SiC lebih baik daripada kuarsa untuk aplikasi efektor akhir?
A1:Meskipun kuarsa umumnya digunakan karena kemurniannya, ia kurang tangguh secara mekanis dan rentan pecah akibat beban atau guncangan suhu. SiC menawarkan kekuatan, ketahanan aus, dan stabilitas termal yang unggul, sehingga secara signifikan mengurangi risiko waktu henti dan kerusakan wafer.

Q2: Apakah lengan garpu keramik ini kompatibel dengan semua pengendali wafer robotik?
A2:Ya, efektor ujung keramik kami kompatibel dengan sebagian besar sistem penanganan wafer utama dan dapat disesuaikan dengan model robot spesifik Anda dengan gambar rekayasa yang presisi.

Q3: Bisakah menangani wafer 300 mm tanpa melengkung?
A3:Tentu saja. Kekakuan SiC yang tinggi memungkinkan lengan garpu yang tipis dan panjang sekalipun untuk menahan wafer 300 mm dengan aman tanpa melorot atau terdefleksi saat bergerak.

Q4: Berapa lama masa pakai tipikal efektor ujung keramik SiC?
A4:Dengan penggunaan yang tepat, efektor ujung SiC dapat bertahan 5 hingga 10 kali lebih lama daripada model kuarsa atau aluminium tradisional, berkat ketahanannya yang sangat baik terhadap tekanan termal dan mekanis.

Q5: Apakah Anda menawarkan layanan penggantian atau pembuatan prototipe cepat?
A5:Ya, kami mendukung produksi sampel cepat dan menawarkan layanan penggantian berdasarkan gambar CAD atau komponen rekayasa balik dari peralatan yang ada.

Tentang Kami

XKH berspesialisasi dalam pengembangan, produksi, dan penjualan kaca optik khusus berteknologi tinggi serta material kristal baru. Produk kami melayani kebutuhan elektronik optik, elektronik konsumen, dan militer. Kami menawarkan komponen optik Safir, penutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarsa, dan wafer kristal semikonduktor. Dengan keahlian dan peralatan mutakhir, kami unggul dalam pemrosesan produk non-standar, dengan tujuan menjadi perusahaan teknologi tinggi terkemuka di bidang material optoelektronik.