Baki chuck keramik SiC Cangkir hisap keramik pemesinan presisi disesuaikan

Baki chuck keramik SiC Cangkir hisap keramik pemesinan presisi yang disesuaikan Gambar Unggulan

Deskripsi Singkat:

Penghisap baki keramik silikon karbida merupakan pilihan ideal untuk produksi semikonduktor karena kekerasannya yang tinggi, konduktivitas termal yang tinggi, dan stabilitas kimia yang sangat baik. Kerataan dan permukaan akhir yang tinggi memastikan kontak penuh antara wafer dan penghisap, mengurangi kontaminasi dan kerusakan; Ketahanan suhu dan korosi yang tinggi membuatnya cocok untuk lingkungan proses yang keras; Pada saat yang sama, desain yang ringan dan karakteristik umur pakai yang panjang mengurangi biaya produksi dan merupakan komponen kunci yang sangat diperlukan dalam pemotongan wafer, pemolesan, litografi, dan proses lainnya.

Kirim email ke kami

Detail Produk

Label Produk

Karakteristik material:

1.Kekerasan tinggi: kekerasan Mohs silikon karbida adalah 9,2-9,5, kedua setelah berlian, dengan ketahanan aus yang kuat.
2. Konduktivitas termal tinggi: konduktivitas termal silikon karbida setinggi 120-200 W/m·K, yang dapat menghilangkan panas dengan cepat dan cocok untuk lingkungan suhu tinggi.
3. Koefisien ekspansi termal rendah: koefisien ekspansi termal silikon karbida rendah (4,0-4,5×10⁻⁶/K), masih dapat mempertahankan stabilitas dimensi pada suhu tinggi.
4. Stabilitas kimia: ketahanan terhadap korosi asam dan alkali silikon karbida, cocok untuk digunakan dalam lingkungan korosif kimia.
5. Kekuatan mekanik tinggi: silikon karbida memiliki kekuatan lentur dan kekuatan tekan tinggi, dan dapat menahan tekanan mekanis besar.

Fitur:

1. Dalam industri semikonduktor, wafer yang sangat tipis perlu ditempatkan pada mangkuk penghisap vakum, penghisapan vakum digunakan untuk memperbaiki wafer, dan proses pemolesan, penipisan, pelapisan lilin, pembersihan dan pemotongan dilakukan pada wafer.
2. Pengisap silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang baik, dapat secara efektif memperpendek waktu waxing dan waxing, meningkatkan efisiensi produksi.
3. Pengisap vakum silikon karbida juga memiliki ketahanan korosi asam dan alkali yang baik.
4.Dibandingkan dengan pelat pembawa korundum tradisional, memperpendek waktu pemanasan dan pendinginan bongkar muat, meningkatkan efisiensi kerja; Pada saat yang sama, dapat mengurangi keausan antara pelat atas dan bawah, mempertahankan akurasi bidang yang baik, dan memperpanjang masa pakai sekitar 40%.
5. Proporsi materialnya kecil dan ringan. Operator dapat lebih mudah membawa palet, sehingga risiko kerusakan akibat benturan akibat kesulitan transportasi berkurang sekitar 20%.
6. Ukuran: diameter maksimum 640mm; Kerataan: 3um atau kurang

Bidang aplikasi:

1. Manufaktur semikonduktor
●Pengolahan wafer:
Untuk fiksasi wafer dalam fotolitografi, etsa, pengendapan lapisan tipis, dan proses lainnya, memastikan akurasi tinggi dan konsistensi proses. Ketahanan suhu dan korosinya yang tinggi cocok untuk lingkungan produksi semikonduktor yang keras.
●Pertumbuhan epitaksial:
Dalam pertumbuhan epitaksial SiC atau GaN, sebagai pembawa untuk memanaskan dan memperbaiki wafer, memastikan keseragaman suhu dan kualitas kristal pada suhu tinggi, meningkatkan kinerja perangkat.
2. Peralatan fotolistrik
●Manufaktur LED:
Digunakan untuk memperbaiki substrat safir atau SiC, dan sebagai pembawa pemanas dalam proses MOCVD, untuk memastikan keseragaman pertumbuhan epitaksial, meningkatkan efisiensi dan kualitas cahaya LED.
●Dioda laser:
Sebagai perlengkapan presisi tinggi, pemasangan dan pemanasan substrat untuk memastikan kestabilan suhu proses, meningkatkan daya keluaran dan keandalan dioda laser.
3. Pemesinan presisi
●Pemrosesan komponen optik:
Digunakan untuk memperbaiki komponen presisi seperti lensa optik dan filter guna memastikan presisi tinggi dan polusi rendah selama pemrosesan, serta cocok untuk pemesinan intensitas tinggi.
●Pengolahan keramik:
Sebagai perlengkapan dengan stabilitas tinggi, sangat cocok untuk pemesinan presisi bahan keramik guna memastikan akurasi dan konsistensi pemesinan di bawah suhu tinggi dan lingkungan korosif.
4. Percobaan ilmiah
●Eksperimen suhu tinggi:
Sebagai alat fiksasi sampel di lingkungan suhu tinggi, alat ini mendukung eksperimen suhu ekstrem di atas 1600°C untuk memastikan keseragaman suhu dan stabilitas sampel.
●Uji vakum:
Sebagai pembawa pengikat dan pemanas sampel dalam lingkungan vakum, untuk memastikan keakuratan dan pengulangan percobaan, cocok untuk pelapisan vakum dan perlakuan panas.

Spesifikasi teknis:

(Sifat material)		(Satuan)	(ssik)
(kandungan SiC)		(Berat)%	>99
(Ukuran butiran rata-rata)		mikron	4-10
(Kepadatan)		kg/dm3	>3.14
(Porositas tampak)		Suara 1%	<0,5
(Kekerasan Vickers)	HV 0,5	IPK	28
(Kekuatan lentur) (tiga poin)	20ºC	MPa	450
(Kekuatan tekan)	20ºC	MPa	3900
(Modulus Elastisitas)	20ºC	IPK	420
(Ketahanan terhadap patah tulang)		MPa/m2%	3.5
(Konduktivitas termal)	20°ºC	*L/(mK)**	160
(Resistivitas)	20°ºC	Ohm.cm	106-108
(Koefisien ekspansi termal)	a(RT...80ºC)**	*K-110-6**	4.3
(Suhu operasi maksimum)		oºC	tahun 1700

Dengan akumulasi teknis dan pengalaman industri selama bertahun-tahun, XKH mampu menyesuaikan parameter utama seperti ukuran, metode pemanasan, dan desain penyerapan vakum chuck sesuai dengan kebutuhan spesifik pelanggan, memastikan bahwa produk tersebut disesuaikan dengan proses pelanggan secara sempurna. Chuck keramik silikon karbida SiC telah menjadi komponen yang sangat diperlukan dalam pemrosesan wafer, pertumbuhan epitaksial, dan proses utama lainnya karena konduktivitas termalnya yang sangat baik, stabilitas suhu tinggi, dan stabilitas kimia. Terutama dalam pembuatan bahan semikonduktor generasi ketiga seperti SiC dan GaN, permintaan untuk chuck keramik silikon karbida terus tumbuh. Di masa mendatang, dengan pesatnya perkembangan 5G, kendaraan listrik, kecerdasan buatan, dan teknologi lainnya, prospek aplikasi chuck keramik silikon karbida dalam industri semikonduktor akan lebih luas.