Pin Pengangkat Safir Premium Pin pengangkat wafer Al₂O₃ kristal tunggal
Parameter teknis
| Komposisi kimia | Al2O3 |
| Kekerasan | 9 Mohs |
| Sifat optik | Uniaksial |
| Indeks bias | 1.762-1.770 |
| Birefringensi | 0,008-0,010 |
| Penyebaran | Rendah, 0,018 |
| Kilau | Seperti kaca |
| Pleokroisme | Sedang hingga Kuat |
| Diameter | 0,4 mm-30 mm |
| Toleransi diameter | 0,004 mm-0,05 mm |
| panjang | 2mm-150mm |
| toleransi panjang | 0,03 mm-0,25 mm |
| Kualitas permukaan | 40/20 |
| Kebulatan permukaan | RZ0,05 |
| Bentuk khusus | kedua ujungnya datar, satu ujung redius, kedua ujung redius, pin pelana dan bentuk khusus |
Fitur Utama
1. Kekerasan & Ketahanan Aus yang Luar Biasa: Dengan peringkat kekerasan Mohs 9, yang kedua setelah berlian, Pin Pengangkat Safir menunjukkan karakteristik keausan yang jauh lebih unggul daripada alternatif silikon karbida, keramik alumina, atau paduan logam tradisional. Kekerasan ekstrem ini menghasilkan pengurangan signifikan dalam pembentukan partikulat dan kebutuhan perawatan, dengan masa pakai yang biasanya 3-5 kali lebih lama dibandingkan material konvensional dalam aplikasi yang sebanding.
2. Ketahanan Suhu Tinggi yang Unggul: Dirancang untuk tahan terhadap operasi berkelanjutan pada suhu di atas 1000°C tanpa degradasi, Pin Pengangkat Safir mempertahankan stabilitas dimensi dan kekuatan mekanis dalam proses termal yang paling menuntut. Hal ini menjadikannya sangat berharga untuk aplikasi kritis seperti deposisi uap kimia (CVD), deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD), dan sistem anil suhu tinggi di mana ketidaksesuaian ekspansi termal dapat mengganggu hasil proses.
3. Inertitas Kimia: Struktur safir kristal tunggal menunjukkan ketahanan yang luar biasa terhadap serangan asam HF, kimia berbasis klorin, dan gas proses agresif lainnya yang umum ditemui dalam fabrikasi semikonduktor. Stabilitas kimia ini memastikan kinerja yang konsisten dalam lingkungan plasma dan mencegah pembentukan cacat permukaan yang dapat menyebabkan kontaminasi wafer.
4. Kontaminasi Partikel Rendah: Diproduksi dari kristal safir dengan kemurnian tinggi dan bebas cacat (biasanya >99,99%), pin pengangkat ini menunjukkan pelepasan partikel yang minimal bahkan setelah penggunaan jangka panjang. Struktur permukaannya yang non-pori dan hasil akhir yang dipoles memenuhi persyaratan ruang bersih yang paling ketat, yang secara langsung berkontribusi pada peningkatan hasil proses dalam manufaktur semikonduktor node canggih.
Pemesinan Presisi Tinggi: Dengan memanfaatkan teknik penggilingan berlian dan pemrosesan laser canggih, Pin Pengangkat Safir dapat diproduksi dengan toleransi sub-mikron dan tingkat kehalusan permukaan di bawah 0,05μm Ra. Geometri khusus, termasuk profil meruncing, konfigurasi ujung khusus, dan fitur penyelarasan terintegrasi, dapat direkayasa untuk mengatasi tantangan penanganan wafer spesifik pada peralatan fabrikasi generasi mendatang.
Aplikasi Utama
1. Manufaktur Semikonduktor: Pin Pengangkat Safir memainkan peran penting dalam sistem pemrosesan wafer canggih, memberikan dukungan yang andal dan pemosisian yang presisi selama proses fotolitografi, etsa, deposisi, dan inspeksi. Stabilitas termal dan kimianya menjadikannya sangat berharga dalam peralatan litografi EUV dan aplikasi pengemasan canggih yang membutuhkan stabilitas dimensi pada skala nanometer.
2. LED Epitaksi (MOCVD): Dalam sistem pertumbuhan epitaksial galium nitrida (GaN) dan semikonduktor senyawa terkait, Pin Pengangkat Safir memberikan dukungan wafer yang stabil pada suhu yang seringkali melebihi 1000°C. Karakteristik ekspansi termalnya yang sesuai dengan substrat safir meminimalkan lengkungan wafer dan pembentukan slip selama proses pertumbuhan epitaksial.
3. Industri Fotovoltaik: Manufaktur sel surya efisiensi tinggi memanfaatkan sifat unik safir dalam proses difusi suhu tinggi, sintering, dan deposisi lapisan tipis. Ketahanan aus pin sangat berharga dalam lingkungan produksi massal di mana umur komponen secara langsung memengaruhi biaya produksi.
4. Pemrosesan Optik & Elektronik Presisi: Selain aplikasi semikonduktor, Pin Pengangkat Safir juga digunakan untuk menangani komponen optik yang halus, perangkat MEMS, dan substrat khusus yang membutuhkan pemrosesan bebas kontaminasi dan pencegahan goresan. Sifat insulasi listriknya menjadikannya ideal untuk aplikasi yang melibatkan perangkat yang sensitif terhadap elektrostatis.
Layanan XKH untuk pin pengangkat safir
XKH menyediakan dukungan teknis komprehensif dan solusi khusus untuk Sapphire Lift Pins:
1. Layanan Pengembangan Kustom
· Dukungan untuk kustomisasi dimensi, geometri, dan perawatan permukaan
· Rekomendasi pemilihan material dan optimasi parameter teknis
· Desain produk kolaboratif dan verifikasi simulasi
2. Kemampuan Manufaktur Presisi
· Pemesinan presisi tinggi dengan toleransi yang dikontrol dalam ±1μm
· Perawatan khusus termasuk pemolesan cermin dan talang tepi
· Solusi modifikasi permukaan opsional seperti lapisan anti lengket
3. Sistem Penjaminan Mutu
· Penerapan ketat pemeriksaan material masuk dan pengendalian proses
· Inspeksi optik dimensi penuh dan analisis morfologi permukaan
· Penyediaan laporan uji kinerja produk
4. Layanan Rantai Pasokan
· Pengiriman produk standar yang cepat
· Manajemen inventaris khusus untuk akun-akun utama
5. Dukungan Teknis
· Konsultasi solusi aplikasi
· Respon purna jual yang cepat
Kami berkomitmen untuk menyediakan produk Sapphire Lift Pins berkualitas tinggi dan layanan teknis profesional untuk memenuhi persyaratan ketat industri semikonduktor, LED, dan industri canggih lainnya.
