Pin Pengangkat Safir Premium Pin pengangkat wafer Al₂O₃ kristal tunggal
Parameter teknis
| Komposisi kimia | Al2O3 |
| Kekerasan | 9 Mohs-lah yang menentukan |
| Sifat optik | Uniaksial |
| Indeks bias | 1.762-1.770 |
| Birefringensi | 0,008-0,010 |
| Penyebaran | Rendah, 0,018 |
| Kilau | Seperti kaca |
| Pleokroisme | Sedang hingga Kuat |
| Diameter | 0,4mm-30mm |
| Toleransi diameter | 0,004 mm-0,05 mm |
| panjang | Ukuran 2mm-150mm |
| toleransi panjang | 0,03mm-0,25mm |
| Kualitas permukaan | 40/20 |
| Kebulatan permukaan | RZ0,05 |
| Bentuk khusus | kedua ujungnya datar, satu ujung redius, kedua ujung redius, pin pelana dan bentuk khusus |
Fitur Utama
1.Kekerasan & Ketahanan Aus yang Luar Biasa: Dengan peringkat kekerasan Mohs sebesar 9, yang kedua setelah berlian, Pin Pengangkat Safir menunjukkan karakteristik keausan yang secara dramatis mengungguli alternatif silikon karbida, keramik alumina, atau paduan logam tradisional. Kekerasan ekstrem ini menghasilkan pengurangan signifikan dalam pembentukan partikulat dan persyaratan perawatan, dengan masa pakai yang biasanya 3-5 kali lebih lama daripada material konvensional dalam aplikasi yang sebanding.
2. Ketahanan Suhu Tinggi yang Unggul: Dirancang untuk menahan operasi berkelanjutan pada suhu melebihi 1000°C tanpa degradasi, Pin Pengangkat Safir mempertahankan stabilitas dimensi dan kekuatan mekanis dalam proses termal yang paling menuntut. Hal ini membuatnya sangat berharga untuk aplikasi kritis seperti deposisi uap kimia (CVD), deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD), dan sistem anil suhu tinggi di mana ketidaksesuaian ekspansi termal dapat membahayakan hasil proses.
3. Ketahanan Kimia: Struktur safir kristal tunggal menunjukkan ketahanan yang luar biasa terhadap serangan asam HF, kimia berbasis klorin, dan gas proses agresif lainnya yang umum ditemui dalam fabrikasi semikonduktor. Stabilitas kimia ini memastikan kinerja yang konsisten dalam lingkungan plasma dan mencegah pembentukan cacat permukaan yang dapat menyebabkan kontaminasi wafer.
4. Kontaminasi Partikel Rendah: Diproduksi dari kristal safir dengan kemurnian tinggi dan bebas cacat (biasanya >99,99%), pin pengangkat ini menunjukkan pelepasan partikel minimal bahkan setelah penggunaan yang lama. Struktur permukaannya yang tidak berpori dan hasil akhir yang dipoles memenuhi persyaratan ruang bersih yang paling ketat, yang secara langsung berkontribusi pada peningkatan hasil proses dalam pembuatan semikonduktor simpul tingkat lanjut.
Pemesinan Presisi Tinggi: Dengan memanfaatkan teknik penggilingan berlian dan pemrosesan laser yang canggih, Pin Pengangkat Safir dapat diproduksi dengan toleransi sub-mikron dan permukaan akhir di bawah 0,05μm Ra. Geometri khusus termasuk profil meruncing, konfigurasi ujung khusus, dan fitur penyelarasan terintegrasi dapat direkayasa untuk mengatasi tantangan penanganan wafer tertentu dalam peralatan fabrikasi generasi berikutnya.
Aplikasi Utama
1. Manufaktur Semikonduktor: Pin Pengangkat Safir memainkan peran penting dalam sistem pemrosesan wafer tingkat lanjut, menyediakan dukungan yang andal dan posisi yang tepat selama proses fotolitografi, etsa, pengendapan, dan inspeksi. Stabilitas termal dan kimianya membuatnya sangat berharga dalam peralatan litografi EUV dan aplikasi pengemasan tingkat lanjut di mana stabilitas dimensi pada skala nanometer sangat penting.
2. LED Epitaxy (MOCVD): Dalam gallium nitride (GaN) dan sistem pertumbuhan epitaksial semikonduktor senyawa terkait, Pin Pengangkat Safir memberikan dukungan wafer yang stabil pada suhu yang sering kali melebihi 1000°C. Karakteristik ekspansi termal yang cocok dengan substrat safir meminimalkan lengkungan wafer dan pembentukan selip selama proses pertumbuhan epitaksial.
3.Industri Fotovoltaik: Pembuatan sel surya dengan efisiensi tinggi memanfaatkan sifat unik safir dalam proses difusi suhu tinggi, sintering, dan pengendapan lapisan tipis. Ketahanan aus pin sangat berharga dalam lingkungan produksi massal di mana keawetan komponen secara langsung memengaruhi biaya produksi.
4. Pemrosesan Optik & Elektronik Presisi: Selain aplikasi semikonduktor, Pin Pengangkat Safir digunakan dalam penanganan komponen optik yang halus, perangkat MEMS, dan substrat khusus yang memerlukan pemrosesan bebas kontaminasi dan pencegahan goresan. Sifat insulasi listriknya membuatnya ideal untuk aplikasi yang melibatkan perangkat yang sensitif terhadap elektrostatis.
Layanan XKH untuk pin lift safir
XKH menyediakan dukungan teknis yang komprehensif dan solusi khusus untuk Sapphire Lift Pins:
1. Layanan Pengembangan Kustom
· Dukungan untuk kustomisasi dimensi, geometri, dan perawatan permukaan
· Rekomendasi pemilihan material dan pengoptimalan parameter teknis
· Desain produk kolaboratif dan verifikasi simulasi
2. Kemampuan Manufaktur Presisi
· Pemesinan presisi tinggi dengan toleransi yang dikontrol dalam ±1μm
· Perawatan khusus termasuk pemolesan cermin dan talang tepi
· Solusi modifikasi permukaan opsional seperti pelapis anti lengket
3. Sistem Penjaminan Mutu
· Penerapan ketat inspeksi material masuk dan kontrol proses
· Inspeksi optik dimensi penuh dan analisis morfologi permukaan
· Penyediaan laporan uji kinerja produk
4. Layanan Rantai Pasokan
· Pengiriman cepat produk standar
· Manajemen inventaris khusus untuk akun-akun utama
5. Dukungan Teknis
· Konsultasi solusi aplikasi
· Respon purna jual yang cepat
Kami berkomitmen untuk menyediakan produk Sapphire Lift Pins berkualitas tinggi dan layanan teknis profesional untuk memenuhi persyaratan ketat semikonduktor, LED, dan industri canggih lainnya.
