Substrat Safir Berpola PSS 2 inci 4 inci 6 inci ICP etching kering dapat digunakan untuk chip LED
Karakteristik inti
1. Karakteristik material: Bahan substrat adalah safir kristal tunggal (Al₂O₃), dengan kekerasan tinggi, ketahanan panas tinggi, dan stabilitas kimia.
2. Struktur permukaan: Permukaan dibentuk melalui fotolitografi dan etsa menjadi struktur mikro-nano periodik, seperti kerucut, piramida, atau susunan heksagonal.
3. Kinerja optik: Melalui desain pola permukaan, total pantulan cahaya pada antarmuka berkurang, dan efisiensi ekstraksi cahaya ditingkatkan.
4. Kinerja termal: Substrat safir memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, cocok untuk aplikasi LED daya tinggi.
5. Spesifikasi ukuran: Ukuran umum adalah 2 inci (50,8 mm), 4 inci (100 mm), dan 6 inci (150 mm).
Bidang aplikasi utama
1. Pembuatan LED:
Peningkatan efisiensi ekstraksi cahaya: PSS mengurangi kehilangan cahaya melalui desain pola, secara signifikan meningkatkan kecerahan LED dan efisiensi cahaya.
Peningkatan kualitas pertumbuhan epitaksial: Struktur berpola menyediakan dasar pertumbuhan yang lebih baik untuk lapisan epitaksial GaN dan meningkatkan kinerja LED.
2. Dioda Laser (LD) :
Laser berdaya tinggi: Konduktivitas termal dan stabilitas PSS yang tinggi cocok untuk dioda laser berdaya tinggi, meningkatkan kinerja dan keandalan pembuangan panas.
Arus ambang rendah: Mengoptimalkan pertumbuhan epitaksial, mengurangi arus ambang dioda laser, dan meningkatkan efisiensi.
3. Fotodetektor:
Sensitivitas tinggi: Transmisi cahaya yang tinggi dan kepadatan cacat yang rendah pada PSS meningkatkan sensitivitas dan kecepatan respons fotodetektor.
Respons spektral lebar: cocok untuk deteksi fotolistrik dalam rentang ultraviolet hingga cahaya tampak.
4. Elektronika daya:
Tahan terhadap tegangan tinggi: Isolasi tinggi dan stabilitas termal Sapphire cocok untuk perangkat daya tegangan tinggi.
Pembuangan panas yang efisien: Konduktivitas termal yang tinggi meningkatkan kinerja pembuangan panas perangkat listrik dan memperpanjang masa pakai.
5. Perangkat RF:
Kinerja frekuensi tinggi: Kehilangan dielektrik rendah dan stabilitas termal tinggi dari PSS cocok untuk perangkat RF frekuensi tinggi.
Kebisingan rendah: Kerataan tinggi dan kepadatan cacat rendah mengurangi kebisingan perangkat dan meningkatkan kualitas sinyal.
6. Biosensor:
Deteksi sensitivitas tinggi: Transmisi cahaya tinggi dan stabilitas kimia PSS cocok untuk biosensor sensitivitas tinggi.
Biokompatibilitas: Biokompatibilitas safir membuatnya cocok untuk aplikasi medis dan biodeteksi.
Substrat safir berpola (PSS) dengan bahan epitaksial GaN:
Substrat safir berpola (PSS) merupakan substrat ideal untuk pertumbuhan epitaksial GaN (gallium nitrida). Konstanta kisi safir mendekati GaN, yang dapat mengurangi ketidaksesuaian kisi dan cacat dalam pertumbuhan epitaksial. Struktur mikro-nano permukaan PSS tidak hanya meningkatkan efisiensi ekstraksi cahaya, tetapi juga meningkatkan kualitas kristal lapisan epitaksial GaN, sehingga meningkatkan kinerja dan keandalan LED.
Parameter teknis
| Barang | Substrat Safir Berpola (2~6 inci) | ||
| Diameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Ketebalan | Ukuran 430 ± 25 mikrometer | Ukuran 650 ± 25 mikrometer | Ukuran 1000 ± 25 mikrometer |
| Orientasi Permukaan | Bidang C (0001) bersudut tidak terhadap sumbu M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Bidang C (0001) bersudut miring terhadap sumbu A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientasi Datar Utama | Bidang A (11-20) ± 1.0° | ||
| Panjang Datar Primer | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm2 | 47,5 ± 2,0 mm |
| Pesawat R | Jam 9 | ||
| Permukaan Depan Selesai | Berpola | ||
| Permukaan Belakang Selesai | SSP:Digiling halus, Ra=0,8-1,2um; DSP:Dipoles halus, Ra<0,3nm | ||
| Tanda Laser | Sisi belakang | ||
| TV Televisi | ≤8 mikrometer | ≤10 mikrometer | ≤20 mikrometer |
| BUSUR | ≤10 mikrometer | ≤15 mikron | ≤25 mikron |
| MELENGKUNG | ≤12 mikron | ≤20 mikrometer | Ukuran ≤30 mikrometer |
| Pengecualian Tepi | ≤2 mm | ||
| Spesifikasi Pola | Struktur Bentuk | Kubah, Kerucut, Piramida | |
| Tinggi Pola | 1,6~1,8 mikron | ||
| Diameter Pola | 2,75~2,85 mikrometer | ||
| Ruang Pola | 0,1~0,3 mikron | ||
XKH mengkhususkan diri dalam menyediakan substrat safir berpola khusus (PSS) berkualitas tinggi dengan dukungan teknis dan layanan purna jual untuk membantu pelanggan mencapai inovasi yang efisien di bidang LED, tampilan, dan optoelektronik.
1. Pasokan PSS berkualitas tinggi: Substrat safir berpola dalam berbagai ukuran (2", 4", 6") untuk memenuhi kebutuhan LED, tampilan, dan perangkat optoelektronik.
2. Desain khusus: Sesuaikan struktur mikro-nano permukaan (seperti kerucut, piramida, atau susunan heksagonal) sesuai dengan kebutuhan pelanggan untuk mengoptimalkan efisiensi ekstraksi cahaya.
3. Dukungan teknis: Menyediakan desain aplikasi PSS, pengoptimalan proses, dan konsultasi teknis untuk membantu pelanggan meningkatkan kinerja produk.
4. Dukungan pertumbuhan epitaksial: PSS yang disesuaikan dengan bahan epitaksial GaN disediakan untuk memastikan pertumbuhan lapisan epitaksial berkualitas tinggi.
5. Pengujian dan sertifikasi: Menyediakan laporan pemeriksaan mutu PSS untuk memastikan bahwa produk memenuhi standar industri.
Diagram Rinci
