Substrat Sapphire Berpola PSS 2inch 4inch 6 inci ICP Etsa kering dapat digunakan untuk chip LED
Karakteristik inti
1. Karakteristik material: Bahan substrat adalah safir kristal tunggal (Al₂o₃), dengan kekerasan tinggi, ketahanan panas tinggi dan stabilitas kimia.
2. Struktur Permukaan: Permukaan dibentuk oleh fotolitografi dan etsa menjadi struktur mikro-nano berkala, seperti kerucut, piramida atau susunan heksagonal.
3. Kinerja Optik: Melalui desain pola permukaan, refleksi total cahaya pada antarmuka berkurang, dan efisiensi ekstraksi cahaya ditingkatkan.
4. Kinerja Termal: Substrat Sapphire memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, cocok untuk aplikasi LED daya tinggi.
5. Spesifikasi Ukuran: Ukuran umum adalah 2 inci (50,8mm), 4 inci (100mm) dan 6 inci (150mm).
Area aplikasi utama
1. LED MANFAITANG:
Efisiensi ekstraksi cahaya yang ditingkatkan: PSS mengurangi kehilangan cahaya melalui desain pola, secara signifikan meningkatkan kecerahan LED dan efisiensi bercahaya.
Peningkatan Kualitas Pertumbuhan Epitaxial: Struktur Berpola memberikan basis pertumbuhan yang lebih baik untuk lapisan epitaxial GaN dan meningkatkan kinerja LED.
2. Laser Diode (LD):
Laser Daya Tinggi: Konduktivitas termal tinggi dan stabilitas PSS cocok untuk dioda laser daya tinggi, meningkatkan kinerja dan keandalan disipasi panas.
Arus Ambang Rendah: Mengoptimalkan pertumbuhan epitaxial, mengurangi arus ambang batas dioda laser, dan meningkatkan efisiensi.
3. Photodetector:
Sensitivitas Tinggi: Transmisi cahaya tinggi dan kepadatan cacat rendah PSS meningkatkan sensitivitas dan kecepatan respons fotodetektor.
Respons spektral luas: Cocok untuk deteksi fotoelektrik di ultraviolet ke rentang yang terlihat.
4. Power Electronics:
Resistensi tegangan tinggi: Insulasi tinggi dan stabilitas termal Sapphire cocok untuk perangkat daya tegangan tinggi.
Disipasi panas yang efisien: Konduktivitas termal yang tinggi meningkatkan kinerja disipasi panas dari perangkat daya dan memperpanjang umur layanan.
5. Perangkat RF:
Kinerja frekuensi tinggi: Kehilangan dielektrik rendah dan stabilitas termal PSS yang tinggi cocok untuk perangkat RF frekuensi tinggi.
Kebisingan rendah: Kerataan tinggi dan kerapatan cacat rendah mengurangi kebisingan perangkat dan meningkatkan kualitas sinyal.
6. Biosensor:
Deteksi sensitivitas tinggi: Transmisi cahaya tinggi dan stabilitas kimia PSS cocok untuk biosensor sensitivitas tinggi.
Biokompatibilitas: Biokompatibilitas safir membuatnya cocok untuk aplikasi medis dan biodeteksi.
Substrat Sapphire Berpola (PSS) dengan bahan epitaxial GaN:
Substrat Sapphire Berpola (PSS) adalah substrat yang ideal untuk pertumbuhan epitaxial GaN (Gallium nitride). Konstanta kisi safir dekat dengan GAN, yang dapat mengurangi ketidakcocokan kisi dan cacat dalam pertumbuhan epitaxial. Struktur mikro-nano dari permukaan PSS tidak hanya meningkatkan efisiensi ekstraksi cahaya, tetapi juga meningkatkan kualitas kristal lapisan epitaxial GaN, sehingga meningkatkan kinerja dan keandalan LED.
Parameter teknis
Barang | Substrat Sapphire Berpola (2 ~ 6 inci) | ||
Diameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Ketebalan | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Orientasi permukaan | C-Plane (0001) Off-sudut menuju M-sumbu (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
C-Plane (0001) Off-sudut menuju sumbu-A (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Orientasi datar primer | A-Plane (11-20) ± 1,0 ° | ||
Panjang datar primer | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-Plane | 9-O'Clock | ||
Permukaan depan | Bermotif | ||
Finishing permukaan belakang | SSP: Fine-ground, RA = 0,8-1.2UM; DSP: Epi-Polished, Ra <0,3nm | ||
Mark Laser | Sisi belakang | ||
Ttv | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
BUSUR | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
MELENGKUNG | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Pengecualian tepi | ≤2 mm | ||
Spesifikasi pola | Struktur bentuk | Kubah, kerucut, piramida | |
Tinggi pola | 1.6 ~ 1.8μm | ||
Diameter pola | 2.75 ~ 2.85μm | ||
Ruang pola | 0,1 ~ 0,3μm |
XKH berspesialisasi dalam menyediakan substrat safir berpola berkualitas tinggi dan khusus dengan dukungan teknis dan layanan purna jual untuk membantu pelanggan mencapai inovasi yang efisien di bidang LED, display, dan optoelektronik.
1. Pasokan PSS Berkualitas Tinggi: Substrat Sapphire Berpola dalam berbagai ukuran (2 ", 4", 6 ") untuk memenuhi kebutuhan perangkat LED, display, dan optoelektronik.
2. Desain yang Disesuaikan: Kustomisasi struktur permukaan mikro-nano (seperti kerucut, piramida atau array heksagonal) sesuai dengan kebutuhan pelanggan untuk mengoptimalkan efisiensi ekstraksi cahaya.
3. Dukungan Teknis: Menyediakan desain aplikasi PSS, optimasi proses, dan konsultasi teknis untuk membantu pelanggan meningkatkan kinerja produk.
4. Dukungan pertumbuhan epitaxial: PSS yang cocok dengan bahan epitaxial GAN disediakan untuk memastikan pertumbuhan lapisan epitaxial berkualitas tinggi.
5. Pengujian dan Sertifikasi: Menyediakan Laporan Inspeksi Kualitas PSS untuk memastikan bahwa produk memenuhi standar industri.
Diagram terperinci


