Substrat Safir Bermotif (PSS) 2 inci, 4 inci, 6 inci, etsa kering ICP dapat digunakan untuk chip LED.
Karakteristik inti
1. Karakteristik material: Material substrat adalah kristal tunggal safir (Al₂O₃), dengan kekerasan tinggi, ketahanan panas tinggi, dan stabilitas kimia.
2. Struktur permukaan: Permukaan dibentuk melalui fotolitografi dan etsa menjadi struktur mikro-nano periodik, seperti kerucut, piramida, atau susunan heksagonal.
3. Kinerja optik: Melalui desain pola permukaan, total refleksi cahaya pada antarmuka dikurangi, dan efisiensi ekstraksi cahaya ditingkatkan.
4. Kinerja termal: Substrat safir memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, cocok untuk aplikasi LED daya tinggi.
5. Spesifikasi ukuran: Ukuran umum adalah 2 inci (50,8 mm), 4 inci (100 mm) dan 6 inci (150 mm).
Area aplikasi utama
1. Manufaktur LED:
Peningkatan efisiensi ekstraksi cahaya: PSS mengurangi kehilangan cahaya melalui desain pola, sehingga secara signifikan meningkatkan kecerahan LED dan efisiensi pencahayaan.
Peningkatan kualitas pertumbuhan epitaksial: Struktur berpola memberikan dasar pertumbuhan yang lebih baik untuk lapisan epitaksial GaN dan meningkatkan kinerja LED.
2. Dioda Laser (LD):
Laser daya tinggi: Konduktivitas termal dan stabilitas PSS yang tinggi cocok untuk dioda laser daya tinggi, meningkatkan kinerja pembuangan panas dan keandalan.
Arus ambang rendah: Mengoptimalkan pertumbuhan epitaksial, mengurangi arus ambang dioda laser, dan meningkatkan efisiensi.
3. Fotodetektor:
Sensitivitas tinggi: Transmisi cahaya yang tinggi dan kepadatan cacat yang rendah pada PSS meningkatkan sensitivitas dan kecepatan respons fotodetektor.
Respons spektral yang luas: cocok untuk deteksi fotolistrik dalam rentang ultraviolet hingga tampak.
4. Elektronika daya:
Ketahanan terhadap tegangan tinggi: Isolasi dan stabilitas termal safir yang tinggi cocok untuk perangkat daya tegangan tinggi.
Pembuangan panas yang efisien: Konduktivitas termal yang tinggi meningkatkan kinerja pembuangan panas perangkat daya dan memperpanjang masa pakai.
5. Perangkat RF:
Performa frekuensi tinggi: Kerugian dielektrik yang rendah dan stabilitas termal yang tinggi dari PSS cocok untuk perangkat RF frekuensi tinggi.
Tingkat kebisingan rendah: Tingkat kerataan yang tinggi dan kepadatan cacat yang rendah mengurangi kebisingan perangkat dan meningkatkan kualitas sinyal.
6. Biosensor:
Deteksi sensitivitas tinggi: Transmisi cahaya yang tinggi dan stabilitas kimia PSS cocok untuk biosensor sensitivitas tinggi.
Biokompatibilitas: Biokompatibilitas safir membuatnya cocok untuk aplikasi medis dan deteksi biologis.
Substrat safir berpola (PSS) dengan material epitaksial GaN:
Substrat safir berpola (PSS) adalah substrat ideal untuk pertumbuhan epitaksial GaN (galium nitrida). Konstanta kisi safir mendekati GaN, yang dapat mengurangi ketidaksesuaian kisi dan cacat dalam pertumbuhan epitaksial. Struktur mikro-nano permukaan PSS tidak hanya meningkatkan efisiensi ekstraksi cahaya, tetapi juga meningkatkan kualitas kristal lapisan epitaksial GaN, sehingga meningkatkan kinerja dan keandalan LED.
Parameter teknis
| Barang | Substrat Safir Bermotif (2~6 inci) | ||
| Diameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Ketebalan | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientasi Permukaan | Bidang C (0001) miring terhadap sumbu M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Bidang C (0001) miring terhadap sumbu A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientasi Datar Utama | Bidang A (11-20) ± 1,0° | ||
| Panjang Datar Utama | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| Pesawat R | jam 9 | ||
| Finishing Permukaan Depan | Bermotif | ||
| Lapisan Permukaan Belakang | SSP: Digiling halus, Ra=0,8-1,2 µm; DSP: Dipoles epi, Ra<0,3 nm | ||
| Tanda Laser | Sisi belakang | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BUSUR | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| MELENGKUNG | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Pengecualian Tepi | ≤2 mm | ||
| Spesifikasi Pola | Struktur Bentuk | Kubah, Kerucut, Piramida | |
| Tinggi Pola | 1,6~1,8μm | ||
| Diameter Pola | 2,75~2,85μm | ||
| Ruang Pola | 0,1~0,3μm | ||
XKH mengkhususkan diri dalam menyediakan substrat safir berpola (PSS) berkualitas tinggi dan sesuai pesanan, dengan dukungan teknis dan layanan purna jual untuk membantu pelanggan mencapai inovasi yang efisien di bidang LED, tampilan, dan optoelektronik.
1. Pasokan PSS berkualitas tinggi: Substrat safir berpola dalam berbagai ukuran (2", 4", 6") untuk memenuhi kebutuhan perangkat LED, layar, dan optoelektronik.
2. Desain yang disesuaikan: Sesuaikan struktur mikro-nano permukaan (seperti kerucut, piramida, atau susunan heksagonal) sesuai kebutuhan pelanggan untuk mengoptimalkan efisiensi ekstraksi cahaya.
3. Dukungan teknis: Memberikan desain aplikasi PSS, optimasi proses, dan konsultasi teknis untuk membantu pelanggan meningkatkan kinerja produk.
4. Dukungan pertumbuhan epitaksial: PSS yang sesuai dengan material epitaksial GaN disediakan untuk memastikan pertumbuhan lapisan epitaksial berkualitas tinggi.
5. Pengujian dan sertifikasi: Menyediakan laporan inspeksi kualitas PSS untuk memastikan bahwa produk memenuhi standar industri.
Diagram Terperinci
