Substrat Safir Berpola PSS 2 inci 4 inci 6 inci ICP etsa kering dapat digunakan untuk chip LED

Deskripsi Singkat:

Substrat safir berpola (PSS) adalah substrat tempat struktur mikro dan nano dibentuk melalui teknik litografi dan etsa. Substrat ini terutama digunakan dalam manufaktur LED (dioda pemancar cahaya) untuk meningkatkan efisiensi ekstraksi cahaya melalui desain pola permukaan, sehingga meningkatkan kecerahan dan kinerja LED.


Fitur

Karakteristik inti

1. Karakteristik material: Bahan substrat adalah safir kristal tunggal (Al₂O₃), dengan kekerasan tinggi, ketahanan panas tinggi, dan stabilitas kimia.

2. Struktur permukaan: Permukaan dibentuk melalui fotolitografi dan etsa menjadi struktur mikro-nano periodik, seperti kerucut, piramida, atau susunan heksagonal.

3. Kinerja optik: Melalui desain pola permukaan, total pantulan cahaya pada antarmuka berkurang, dan efisiensi ekstraksi cahaya ditingkatkan.

4. Kinerja termal: Substrat safir memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, cocok untuk aplikasi LED daya tinggi.

5. Spesifikasi ukuran: Ukuran umum adalah 2 inci (50,8 mm), 4 inci (100 mm), dan 6 inci (150 mm).

Area aplikasi utama

1. Pembuatan LED:
Peningkatan efisiensi ekstraksi cahaya: PSS mengurangi kehilangan cahaya melalui desain pola, secara signifikan meningkatkan kecerahan LED dan efisiensi pencahayaan.

Peningkatan kualitas pertumbuhan epitaksial: Struktur berpola menyediakan dasar pertumbuhan yang lebih baik untuk lapisan epitaksial GaN dan meningkatkan kinerja LED.

2. Dioda Laser (LD) :
Laser daya tinggi: Konduktivitas termal dan stabilitas PSS yang tinggi cocok untuk dioda laser daya tinggi, meningkatkan kinerja dan keandalan pembuangan panas.

Arus ambang rendah: Mengoptimalkan pertumbuhan epitaksial, mengurangi arus ambang dioda laser, dan meningkatkan efisiensi.

3. Fotodetektor:
Sensitivitas tinggi: Transmisi cahaya tinggi dan kepadatan cacat rendah pada PSS meningkatkan sensitivitas dan kecepatan respons fotodetektor.

Respons spektral lebar: cocok untuk deteksi fotolistrik dalam rentang ultraviolet hingga tampak.

4. Elektronika daya:
Resistansi tegangan tinggi: Isolasi tinggi dan stabilitas termal Sapphire cocok untuk perangkat daya tegangan tinggi.

Pembuangan panas yang efisien: Konduktivitas termal yang tinggi meningkatkan kinerja pembuangan panas perangkat listrik dan memperpanjang masa pakai.

5. Perangkat RF:
Kinerja frekuensi tinggi: Kehilangan dielektrik rendah dan stabilitas termal tinggi dari PSS cocok untuk perangkat RF frekuensi tinggi.

Kebisingan rendah: Kerataan tinggi dan kepadatan cacat rendah mengurangi kebisingan perangkat dan meningkatkan kualitas sinyal.

6. Biosensor:
Deteksi sensitivitas tinggi: Transmisi cahaya tinggi dan stabilitas kimia PSS cocok untuk biosensor sensitivitas tinggi.

Biokompatibilitas: Biokompatibilitas safir membuatnya cocok untuk aplikasi medis dan biodeteksi.
Substrat safir berpola (PSS) dengan bahan epitaksial GaN:

Substrat safir berpola (PSS) merupakan substrat ideal untuk pertumbuhan epitaksial GaN (galium nitrida). Konstanta kisi safir mendekati GaN, yang dapat mengurangi ketidaksesuaian kisi dan cacat dalam pertumbuhan epitaksial. Struktur mikro-nano permukaan PSS tidak hanya meningkatkan efisiensi ekstraksi cahaya, tetapi juga meningkatkan kualitas kristal lapisan epitaksial GaN, sehingga meningkatkan kinerja dan keandalan LED.

Parameter teknis

Barang Substrat Safir Berpola (2~6 inci)
Diameter 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Ketebalan 430 ± 25 mikrometer 650 ± 25 mikrometer 1000 ± 25 mikrometer
Orientasi Permukaan Bidang C (0001) menyimpang dari sumbu M (10-10) 0,2 ± 0,1°
Bidang C (0001) bersudut miring terhadap sumbu A (11-20) 0 ± 0,1°
Orientasi Datar Utama Bidang A (11-20) ± 1,0°
Panjang Datar Primer 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
R-Plane Jam 9
Permukaan Depan Selesai Berpola
Permukaan Belakang Selesai SSP:Digiling halus, Ra=0,8-1,2 nm; DSP:Dipoles halus, Ra<0,3 nm
Tanda Laser Sisi belakang
Televisi ≤8μm ≤10μm ≤20μm
BUSUR ≤10μm ≤15μm ≤25μm
MELENGKUNG ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Pengecualian Tepi ≤2 mm
Spesifikasi Pola Struktur Bentuk Kubah, Kerucut, Piramida
Tinggi Pola 1,6~1,8 mikrometer
Diameter Pola 2,75~2,85μm
Ruang Pola 0,1~0,3 mikron

 XKH mengkhususkan diri dalam menyediakan substrat safir berpola khusus (PSS) berkualitas tinggi dengan dukungan teknis dan layanan purna jual untuk membantu pelanggan mencapai inovasi yang efisien di bidang LED, tampilan, dan optoelektronik.

1. Pasokan PSS berkualitas tinggi: Substrat safir berpola dalam berbagai ukuran (2", 4", 6") untuk memenuhi kebutuhan perangkat LED, display, dan optoelektronik.

2. Desain khusus: Sesuaikan struktur mikro-nano permukaan (seperti kerucut, piramida, atau susunan heksagonal) sesuai kebutuhan pelanggan untuk mengoptimalkan efisiensi ekstraksi cahaya.

3. Dukungan teknis: Menyediakan desain aplikasi PSS, pengoptimalan proses, dan konsultasi teknis untuk membantu pelanggan meningkatkan kinerja produk.

4. Dukungan pertumbuhan epitaksial: PSS yang disesuaikan dengan bahan epitaksial GaN disediakan untuk memastikan pertumbuhan lapisan epitaksial berkualitas tinggi.

5. Pengujian dan sertifikasi: Menyediakan laporan inspeksi mutu PSS untuk memastikan bahwa produk memenuhi standar industri.

Diagram Rinci

Substrat Safir Berpola (PSS) 4
Substrat Safir Berpola (PSS) 5
Substrat Safir Berpola (PSS) 6

  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Tulis pesan Anda di sini dan kirimkan kepada kami