Efektor Ujung Keramik Alumina Berkinerja Tinggi (Lengan Garpu) untuk Semikonduktor dan Otomasi Ruang Bersih

Deskripsi Singkat:

Alumina Ceramic End Effector, juga disebut sebagai lengan garpu keramik atau tangan keramik robotik, adalah komponen penanganan presisi tinggi yang dirancang untuk sistem otomatis di lingkungan semikonduktor, fotovoltaik, panel display, dan laboratorium dengan kemurnian tinggi. Komponen ini dirancang untuk memberikan stabilitas termal, kekakuan mekanis, dan ketahanan kimia yang luar biasa, menawarkan pengangkutan material sensitif seperti wafer silikon, substrat kaca, dan komponen mikro elektronik yang bersih, andal, dan aman.

Kirim email ke kami

Fitur

Diagram Rinci

Pengenalan Produk

Sebagai salah satu jenis efektor ujung robotik, komponen keramik ini merupakan antarmuka akhir antara sistem otomasi dan benda kerja. Komponen ini memainkan peran penting dalam transfer presisi, penyelarasan, pemuatan/pembongkaran, dan pemosisian di ruang bersih dan lingkungan vakum.

lengan-keramik-untuk-penggerak-wafer-semikonduktor-G13

lengan-keramik-untuk-penggerak-wafer-semikonduktor-G10

lengan-keramik-untuk-penggerak-wafer-semikonduktor-G07

Tinjauan Material – Keramik Alumina (Al₂O₃)

Keramik alumina adalah material keramik teknis yang sangat stabil dan inert secara kimia, yang dikenal karena sifat mekanik dan listriknya yang sangat baik. Alumina dengan kemurnian tinggi (≥ 99,5%) yang digunakan pada end effector ini memastikan:

Kekerasan tinggi (Mohs 9):Kedua setelah berlian, alumina memberikan ketahanan aus yang ekstrem.
Kemampuan suhu tinggi: Mempertahankan integritas struktural di atas 1600°C.
Kelambanan kimia: Tahan terhadap asam, alkali, pelarut, dan lingkungan etsa plasma.
Isolasi listrik: Dengan kekuatan dielektrik tinggi dan kehilangan dielektrik rendah.
Ekspansi termal rendah: Memastikan stabilitas dimensi dalam lingkungan siklus termal.
Generasi partikel rendah: Penting untuk kompatibilitas ruang bersih (Kelas 10 hingga Kelas 1000).

Fitur-fitur ini membuat keramik alumina ideal untuk operasi penting dalam industri yang sensitif terhadap kontaminasi.

Aplikasi Fungsional

Efektor ujung keramik alumina banyak digunakan dalam proses industri berteknologi tinggi, terutama di mana material logam atau plastik tradisional tidak dapat beroperasi dengan baik karena ekspansi termal, kontaminasi, atau korosi. Bidang aplikasi utama meliputi:

Transfer wafer semikonduktor
Sistem pemuatan dan pembongkaran fotolitografi
Penanganan substrat kaca di jalur OLED dan LCD
Transfer wafer silikon kristal dalam produksi sel surya
Inspeksi optik atau mikroelektronik otomatis
Transportasi sampel di laboratorium analitik atau biomedis
Sistem otomasi lingkungan vakum

Kemampuannya untuk bekerja tanpa memasukkan partikel atau muatan statis membuatnya sangat diperlukan untuk operasi robotik yang presisi dalam otomatisasi ruang bersih.

Fitur Desain & Kustomisasi

Setiap efektor ujung keramik dirancang agar sesuai dengan lengan robot atau sistem penanganan wafer tertentu. Kami mendukung kustomisasi penuh berdasarkan:

Kompatibilitas ukuran wafer: 2", 4", 6", 8", 12" dan lebih banyak lagi
Geometri dan jarak slot: Mengakomodasi pegangan tepi, dukungan sisi belakang, atau desain wafer berlekuk
Port hisap: Lubang vakum atau saluran terintegrasi untuk penanganan non-kontak
Konfigurasi pemasangan: Lubang, ulir, slot yang disesuaikan dengan flensa alat ujung robot Anda
Perawatan permukaan: Polesan akhir, pelapisan, atau penggilingan halus (Ra < 0,2 µm tersedia)
Perlindungan tepi: Sudut membulat atau chamfering untuk menghindari kerusakan wafer

Dengan menggunakan gambar CAD atau model 3D yang disediakan oleh pelanggan, teknisi kami dapat mengoptimalkan setiap lengan garpu untuk bobot, kekuatan, dan kebersihan.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Keuntungan dari Ceramic End Effectors

Fitur	Keuntungan
Kekakuan Mekanik Tinggi	Mempertahankan presisi dimensi di bawah gaya pemuatan robotik
Kinerja Termal yang Luar Biasa	Berfungsi dengan andal di lingkungan suhu tinggi atau plasma
Nol Kontaminasi Logam	Tidak ada risiko kontaminasi ion dalam pemrosesan semikonduktor kritis
Permukaan Gesekan Rendah	Mengurangi risiko goresan pada substrat wafer atau kaca
Anti-Statis dan Non-Magnetik	Tidak menarik debu atau mempengaruhi komponen sensitif magnetik
Umur Layanan Panjang	Ketahanan aus yang unggul dalam siklus otomasi kecepatan tinggi yang berulang
Kompatibilitas Ultra-Bersih	Cocok untuk ruang bersih ISO 14644 (Kelas 100 dan di bawahnya)

Dibandingkan dengan lengan plastik atau aluminium, keramik alumina memberikan stabilitas kimia dan fisik yang jauh lebih baik dengan kebutuhan perawatan minimal.

Milik	Lengan Logam	Lengan Plastik	Lengan Keramik Alumina
Kekerasan	Sedang	Rendah	Sangat Tinggi (Mohs 9)
Stabilitas Termal	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Ketahanan Kimia	Sedang	Miskin	Bagus sekali
Kesesuaian Ruang Bersih	Sedang	Rendah	Sangat Tinggi
Ketahanan Aus	Sedang	Rendah	Luar biasa
Kekuatan Dielektrik	Rendah	Sedang	Tinggi
Presisi Pemesinan Kustom	Terbatas	Sedang	Tinggi (±0,01mm mungkin)

Spesifikasi Teknis

Parameter	Nilai
Bahan	Alumina kemurnian tinggi (≥ 99,5%)
Suhu Kerja	Hingga 1600°C
Kekasaran Permukaan	Ra ≤ 0,2 µm (opsional)
Ukuran Wafer yang Kompatibel	2" hingga 12" atau kustom
Toleransi Kerataan	±0,01 mm (tergantung aplikasi)
Dukungan Hisap Vakum	Saluran opsional yang dapat disesuaikan
Opsi Pemasangan	Baut tembus, flensa, lubang berlubang

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)

Q1: Dapatkah efektor akhir diintegrasikan ke dalam sistem robotik yang ada?
A1:Ya. Kami mendukung kustomisasi berdasarkan antarmuka robot Anda. Anda dapat mengirimkan gambar CAD atau dimensi flensa untuk adaptasi yang presisi.

Q2: Apakah lengan keramik mudah patah saat digunakan?
A2:Meskipun keramik pada dasarnya rapuh, desain kami menggunakan geometri yang dioptimalkan untuk meminimalkan konsentrasi tegangan. Dalam kondisi penggunaan yang tepat, keramik memberikan masa pakai yang jauh lebih lama dibandingkan logam atau plastik.

Q3: Apakah mungkin untuk menggunakan ini dalam ruang penggoresan plasma atau vakum ultra tinggi?
A3:Ya. Keramik alumina tidak mengeluarkan gas, stabil secara termal, dan tahan korosi—sangat cocok untuk lingkungan vakum tinggi, gas reaktif, atau plasma.

Q4: Bagaimana komponen ini dibersihkan atau dirawat?
A4:Dapat dibersihkan menggunakan air DI, alkohol, atau deterjen yang kompatibel dengan ruang bersih. Tidak memerlukan perawatan khusus karena stabilitas kimia dan permukaannya yang inert.

Tentang Kami

XKH berspesialisasi dalam pengembangan, produksi, dan penjualan kaca optik khusus berteknologi tinggi serta material kristal baru. Produk kami melayani kebutuhan elektronik optik, elektronik konsumen, dan militer. Kami menawarkan komponen optik Safir, penutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarsa, dan wafer kristal semikonduktor. Dengan keahlian dan peralatan mutakhir, kami unggul dalam pemrosesan produk non-standar, dengan tujuan menjadi perusahaan teknologi tinggi terkemuka di bidang material optoelektronik.