Wafer Safir C-Plane SSP/DSP dengan Ketebalan Dia300x1.0mm
Pengenalan kotak wafer
| Bahan Kristal | 99,999% Al2O3, Kemurnian Tinggi, Monokristalin, Al2O3 | |||
| Kualitas kristal | Inklusi, tanda blok, kembaran, warna, gelembung mikro, dan pusat penyebaran tidak ada. | |||
| Diameter | 2 inci | 3 inci | 4 inci | 6 inci ~ 12 inci |
| 50,8 ± 0,1 mm | 76,2±0,2 mm | 100±0,3 mm | Sesuai dengan ketentuan produksi standar | |
| Ketebalan | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Dapat disesuaikan oleh pelanggan. |
| Orientasi | Bidang C (0001) ke bidang M (1-100) atau bidang A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, bidang R (1-1 0 2), bidang A (1 1-2 0 ), bidang M (1-1 0 0), Orientasi Apa Pun, Sudut Apa Pun | |||
| Panjang datar utama | 16,0±1mm | 22,0±1,0 mm | 32,5±1,5 mm | Sesuai dengan ketentuan produksi standar |
| Orientasi datar utama | Bidang A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
| TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| BUSUR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Melengkung | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Permukaan Depan | Dipoles Epi (Ra< 0,2nm) | |||
*Busur: Penyimpangan titik pusat permukaan median dari wafer bebas yang tidak dijepit dari bidang referensi, di mana bidang referensi didefinisikan oleh tiga sudut segitiga sama sisi.
*Warp: Perbedaan antara jarak maksimum dan minimum permukaan median wafer bebas yang tidak dijepit dari bidang referensi yang didefinisikan di atas.
Produk dan layanan berkualitas tinggi untuk perangkat semikonduktor generasi berikutnya dan pertumbuhan epitaksial:
Tingkat kerataan yang tinggi (TTV, lengkungan, lusi, dll. terkontrol)
Pembersihan berkualitas tinggi (kontaminasi partikel rendah, kontaminasi logam rendah)
Pengeboran substrat, pembuatan alur, pemotongan, dan pemolesan bagian belakang
Lampiran data seperti kebersihan dan bentuk substrat (opsional)
Jika Anda membutuhkan substrat safir, silakan hubungi:
surat:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Kami akan segera menghubungi Anda kembali!
Diagram Terperinci





