Efektor Ujung Keramik Alumina / Lengan Garpu untuk Penanganan Wafer dan Substrat

Deskripsi Singkat:

Alumina Ceramic End Effector, yang biasa disebut lengan garpu keramik atau gripper keramik, merupakan alat penting yang digunakan dalam lini produksi otomasi robotik dan ruang bersih. Komponen ini dipasang pada lengan robot sebagai antarmuka akhir dengan produk, yang bertanggung jawab untuk mengambil, menahan, menyelaraskan, dan memindahkan komponen yang sangat sensitif seperti wafer silikon, panel kaca, atau komponen mikroelektronik.

Kirim email ke kami

Fitur

Diagram Rinci

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-02 - 副本

Tinjauan Umum Efektor Ujung Keramik Alumina

Alumina Ceramic End Effector, yang biasa disebut lengan garpu keramik atau gripper keramik, merupakan alat penting yang digunakan dalam lini produksi otomasi robotik dan ruang bersih. Alumina Ceramic End Effector dipasang pada lengan robotik sebagai antarmuka akhir dengan produk, yang berfungsi untuk mengambil, menahan, menyelaraskan, dan memindahkan komponen yang sangat sensitif seperti wafer silikon, panel kaca, atau komponen mikroelektronik.

Dibuat dari keramik alumina ultra-murni (Al2O3), lengan garpu ini memberikan solusi yang sangat bersih dan stabil untuk lingkungan di mana kontaminasi logam, deformasi plastik, atau pembentukan partikel tidak dapat ditoleransi.

Sifat Material – Mengapa Alumina

Tentang Alumina Ceramic End Effector，Alumina (Al2O3) adalah salah satu yang paling mapan dan dapat diandalkankeramik rekayasa canggihKualitas yang kami gunakan (kemurnian ≥99,5%) menawarkan kombinasi unik antara kualitas fisik dan kimia yang menjadikannya material pilihan untuk aplikasi semikonduktor dan vakum:

Kekerasan ekstrim– Dengan tingkat kekerasan Mohs sebesar 9, ia menawarkan daya tahan lama dan tahan gores.
Ketahanan termal– Mempertahankan integritas struktural di atas 1600°C, mengungguli produk berbahan logam dan polimer.
Isolasi listrik– Menghilangkan penumpukan statis dan memberikan perlindungan dielektrik penuh.
Kekebalan kimiawi– Tidak terpengaruh oleh asam, alkali, gas plasma, dan larutan pembersih agresif.
Risiko kontaminasi sangat rendah– Permukaan yang tidak mengeluarkan gas, gesekan rendah yang meminimalkan pelepasan partikel di ruang bersih.

Atribut ini memungkinkan efektor ujung keramik alumina beroperasi dengan sempurna di lingkungan yang keras dan berpresisi tinggi.

Aplikasi Inti dari Alumina Ceramic End Effector

Keserbagunaan lengan garpu efektor ujung keramik alumina menjadikannya penting dalam berbagai industri teknologi tinggi:

Sistem transportasi wafer semikonduktor– Memindahkan wafer silikon dari satu proses ke proses lainnya dengan aman tanpa goresan mikro.
Produksi layar panel datar– Menangani substrat kaca yang rapuh untuk fabrikasi OLED, LCD, atau microLED.
Manufaktur fotovoltaik (PV)– Mendukung pemuatan dan pembongkaran wafer surya di bawah siklus robotik berkecepatan tinggi.
Perakitan komponen optik dan elektronik– Mencengkeram bagian-bagian yang halus seperti sensor, resistor, dan chip mini.
Otomatisasi vakum dan ruang bersih– Melakukan tugas presisi dalam kondisi yang sangat bersih dan terkendali partikelnya.

Dalam setiap skenario, Alumina Ceramic End Effector menyediakan hubungan penting antara otomatisasi robotik dan produk yang dipindahkan.

Pilihan Desain dan Kustomisasi Efektor Ujung Keramik Alumina

Setiap lini produksi memiliki persyaratan yang unik. Oleh karena itu, kami menyediakan solusi Alumina Ceramic End Effector yang dirancang khusus untuk berbagai ukuran wafer, sistem robotik, dan metode penanganan:

Kompatibilitas wafer: Menangani wafer dari 2” hingga 12” dan dapat diskalakan untuk komponen khusus.

Pilihan geometri: Garpu tunggal, garpu ganda, multi-slot, atau bentuk khusus dengan ceruk terintegrasi.

Penanganan vakum: Saluran hisap vakum opsional untuk dukungan wafer nirkontak.

Antarmuka pemasangan: Lubang baut khusus, flensa, atau desain beralur agar sesuai dengan lengan robot apa pun.

Permukaan akhir: Permukaan yang dipoles atau super-selesai (hingga Ra < 0,15 μm).

Profil tepi: Tepi yang dibuat miring atau membulat untuk perlindungan wafer yang maksimal.

Tim teknik Alumina Ceramic End Effector kami dapat bekerja berdasarkan gambar CAD pelanggan atau contoh komponen, memastikan integrasi yang mulus ke dalam sistem otomasi yang ada.

Manfaat Utama Efektor Ujung Keramik Alumina

Fitur	Mengapa Hal Ini Penting
Presisi dimensi	Menjaga keselarasan sempurna bahkan dalam siklus berulang berkecepatan tinggi.
Tidak mencemari	Hampir tidak menghasilkan partikel, memenuhi kebutuhan ruang bersih yang ketat.
Tahan panas dan korosi	Tahan terhadap langkah pemrosesan agresif dan guncangan termal.
Tidak ada muatan statis	Melindungi wafer dan komponen sensitif dari risiko elektrostatik.
Ringan tapi kaku	Menawarkan kekakuan tinggi tanpa mengurangi beban lengan robot.
Masa pakai yang diperpanjang	Mengungguli lengan logam dan polimer dalam hal umur dan keandalan.

Perbandingan Material Alumina Ceramic End Effector

Atribut	Lengan Garpu Plastik	Lengan Garpu Aluminium/Logam	Lengan Garpu Keramik Alumina
Kekerasan	Rendah	Sedang	Sangat Tinggi
Rentang Termal	≤ 150°C	≤ 500°C	Hingga 1600°C
Stabilitas Kimia	Miskin	Sedang	Bagus sekali
Peringkat Ruang Bersih	Rendah	Rata-rata	Ideal untuk Kelas 100 atau lebih baik
Ketahanan Aus	Terbatas	Bagus	Luar biasa
Tingkat Kustomisasi	Sedang	Terbatas	Luas

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ) tentang Alumina Ceramic End Effector

Q1: Apa yang membedakan efektor ujung keramik alumina dengan efektor ujung berbahan logam?
A1:Tidak seperti lengan aluminium atau baja, keramik alumina tidak mengalami korosi, deformasi, atau memasukkan ion logam ke dalam proses semikonduktor. Keramik ini tetap stabil secara dimensi dalam kondisi ekstrem dan hampir tidak melepaskan partikel.

Q2: Dapatkah Alumina Ceramic End Effector ini digunakan dalam ruang vakum tinggi dan plasma?
A2:Ya. Keramik alumina adalahtidak mengeluarkan gasdan tahan terhadap plasma, yang membuatnya menjadi material pilihan untuk peralatan pemrosesan vakum dan etsa.

Q3: Seberapa dapat disesuaikan lengan garpu Alumina Ceramic End Effector ini?
A3:Setiap unit bisasepenuhnya disesuaikan—termasuk bentuk, slot, lubang hisap, gaya pemasangan, dan penyelesaian tepi—agar sesuai dengan persyaratan sistem robotik Anda.

Q4: Apakah mereka rapuh?
A4:Meskipun keramik memiliki kerapuhan alami, rekayasa desain kami mendistribusikan beban secara merata dan meminimalkan titik-titik tegangan. Jika ditangani dengan benar, masa pakainya seringkali melebihi masa pakai alternatif logam atau polimer.

Tentang Kami

XKH berspesialisasi dalam pengembangan, produksi, dan penjualan kaca optik khusus berteknologi tinggi serta material kristal baru. Produk kami melayani kebutuhan elektronik optik, elektronik konsumen, dan militer. Kami menawarkan komponen optik Safir, penutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarsa, dan wafer kristal semikonduktor. Dengan keahlian dan peralatan mutakhir, kami unggul dalam pemrosesan produk non-standar, dengan tujuan menjadi perusahaan teknologi tinggi terkemuka di bidang material optoelektronik.