Wafer kelas produksi SiC 8 inci substrat SiC 4H-N

Deskripsi Singkat:

Substrat SiC 8 inci digunakan pada perangkat elektronik berdaya tinggi, seperti MOSFET daya (Transistor Efek Medan Semikonduktor Oksida Logam), dioda Schottky, dan perangkat semikonduktor daya lainnya.

Kirim email ke kami

Detil Produk

Label Produk

Tabel berikut menunjukkan spesifikasi wafer SiC 8 inci kami：

Spesifikasi DSP SiC tipe N 8 inci
Nomor	Barang	Satuan	Produksi	Riset	Contoh
1: parameter
1.1	politipe	--	4H	4H	4H
1.2	orientasi permukaan	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Parameter listrik
2.1	dopan	--	Nitrogen tipe-n	Nitrogen tipe-n	Nitrogen tipe-n
2.2	resistivitas	ohm ·cm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Parameter mekanis
3.1	diameter	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	ketebalan	m	500±25	500±25	500±25
3.3	Orientasi takik	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Kedalaman Takik	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	m	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TV	m	≤10	≤10	≤15
3.7	Busur	m	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Melengkung	m	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Struktur
4.1	kepadatan mikropipa	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	kandungan logam	atom/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. Kualitas depan
5.1	depan	--	Si	Si	Si
5.2	permukaan akhir	--	CMP wajah-si	CMP wajah-si	CMP wajah-si
5.3	partikel	ea/wafer	≤100 (ukuran≥0,3μm)	NA	NA
5.4	menggores	ea/wafer	≤5, Panjang Total≤200mm	NA	NA
5.5	Tepian keripik/lekukan/retak/noda/kontaminasi	--	Tidak ada	Tidak ada	NA
5.6	Daerah politipe	--	Tidak ada	Luas ≤10%	Luas ≤30%
5.7	penandaan depan	--	Tidak ada	Tidak ada	Tidak ada
6: Kualitas kembali
6.1	kembali selesai	--	Anggota parlemen berwajah C	Anggota parlemen berwajah C	Anggota parlemen berwajah C
6.2	menggores	mm	NA	NA	NA
6.3	Tepi cacat punggung chip/indentasi	--	Tidak ada	Tidak ada	NA
6.4	Kekasaran punggung	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Penandaan kembali	--	Takik	Takik	Takik
7:tepi
7.1	tepian	--	Talang	Talang	Talang
8: Paket
8.1	kemasan	--	Epi-siap dengan vakum kemasan	Epi-siap dengan vakum kemasan	Epi-siap dengan vakum kemasan
8.2	kemasan	--	Multi-wafer kemasan kaset	Multi-wafer kemasan kaset	Multi-wafer kemasan kaset