Wafer N/P SiC Epitaxiy 6 inci tipe N/P dapat disesuaikan

Wafer SiC Epitaxiy 6 inci tipe N/P menerima Gambar Unggulan yang disesuaikan

Deskripsi Singkat:

menyediakan wafer epitaksi silikon karbida 4, 6, 8 inci dan layanan pengecoran epitaksi, perangkat daya produksi (600V~3300V) termasuk SBD, JBS, PiN, MOSFET, JFET, BJT, GTO, IGBT dan sebagainya.

Kami dapat Menyediakan wafer epitaksi SiC 4 inci dan 6 inci untuk fabrikasi perangkat daya termasuk SBD JBS PiN MOSFET JFET BJT GTO & IGBT dari 600V hingga 3300V

Kirim email ke kami

Detil Produk

Label Produk

Proses pembuatan wafer epitaksi silikon karbida merupakan metode yang menggunakan teknologi Chemical Vapour Deposition (CVD). Berikut ini adalah prinsip-prinsip teknis yang relevan dan langkah-langkah proses persiapan:

Prinsip teknis:

Deposisi Uap Kimia: Memanfaatkan gas bahan mentah dalam fase gas, dalam kondisi reaksi tertentu, gas tersebut terurai dan diendapkan pada substrat untuk membentuk film tipis yang diinginkan.

Reaksi fase gas: Melalui reaksi pirolisis atau perengkahan, berbagai gas bahan mentah dalam fase gas diubah secara kimia di dalam ruang reaksi.

Langkah-langkah proses persiapan:

Perlakuan substrat: Substrat dilakukan pembersihan permukaan dan perlakuan awal untuk memastikan kualitas dan kristalinitas wafer epitaksi.

Debugging ruang reaksi: sesuaikan suhu, tekanan dan laju aliran ruang reaksi dan parameter lainnya untuk memastikan stabilitas dan kontrol kondisi reaksi.

Pasokan bahan baku: memasok bahan baku gas yang dibutuhkan ke dalam ruang reaksi, mencampur dan mengontrol laju aliran sesuai kebutuhan.

Proses reaksi: Dengan memanaskan ruang reaksi, bahan baku berbentuk gas mengalami reaksi kimia di dalam ruang tersebut untuk menghasilkan endapan yang diinginkan, yaitu film silikon karbida.

Pendinginan dan pembongkaran: Pada akhir reaksi, suhu diturunkan secara bertahap untuk mendinginkan dan memadatkan endapan di ruang reaksi.

Anil wafer epitaksi dan pasca-pemrosesan: wafer epitaksi yang disimpan dianil dan pasca-pemrosesan untuk meningkatkan sifat listrik dan optiknya.

Langkah-langkah dan kondisi spesifik dari proses persiapan wafer epitaksi silikon karbida dapat bervariasi tergantung pada peralatan dan persyaratan spesifik. Hal di atas hanyalah alur dan prinsip proses umum, operasi spesifik perlu disesuaikan dan dioptimalkan sesuai dengan situasi aktual.