Wafer substrat HPSI SiC 6 inci Wafer SiC semi-isolasi karbida silikon

Metode pertumbuhan kristal tunggal SiC yang ada saat ini terutama mencakup tiga metode berikut: metode fase cair, metode deposisi uap kimia suhu tinggi, dan metode transpor fase uap fisik (PVT). Di antara metode-metode tersebut, metode PVT merupakan teknologi yang paling banyak diteliti dan matang untuk pertumbuhan kristal tunggal SiC, dan kesulitan teknisnya adalah:

(1) Kristal tunggal SiC pada suhu tinggi 2300 ° C di atas ruang grafit tertutup untuk menyelesaikan proses rekristalisasi konversi "padat - gas - padat", siklus pertumbuhannya panjang, sulit dikendalikan, dan rentan terhadap mikrotubulus, inklusi, dan cacat lainnya.

(2) Kristal tunggal silikon karbida, termasuk lebih dari 200 jenis kristal yang berbeda, tetapi produksi umum hanya satu jenis kristal, mudah untuk menghasilkan transformasi jenis kristal dalam proses pertumbuhan yang mengakibatkan cacat inklusi multi-jenis, proses persiapan jenis kristal tunggal yang spesifik sulit untuk mengontrol stabilitas proses, misalnya, arus utama saat ini dari tipe 4H.

(3) Pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida di bidang termal terdapat gradien suhu, sehingga dalam proses pertumbuhan kristal terdapat tegangan internal asli dan mengakibatkan dislokasi, kesalahan dan cacat lainnya.

(4) Proses pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida perlu mengontrol secara ketat masuknya pengotor eksternal, sehingga diperoleh kristal semi-isolasi dengan kemurnian sangat tinggi atau kristal konduktif yang didoping secara terarah. Untuk substrat silikon karbida semi-isolasi yang digunakan dalam perangkat RF, sifat listrik perlu dicapai dengan mengendalikan konsentrasi pengotor yang sangat rendah dan jenis cacat titik tertentu pada kristal.