Wafer film kristal tunggal LNOI litium niobat berukuran 4 inci dan 6 inci
Proses persiapan bahan LNOI terutama dibagi menjadi empat langkah berikut:
(1) Ion He disuntikkan ke dalam material litium niobat yang dipotong-X pada energi tertentu, dan dimasukkan ke dalam lapisan cacat pada kedalaman tertentu di bawah lapisan permukaan litium niobat;
(2) Bahan lithium niobate yang ditanamkan ion diikatkan pada substrat silikon dengan lapisan oksida untuk membentuk struktur ikatan;
(3) Struktur ikatan dianil untuk membuat cacat yang disebabkan oleh implantasi ion He berkembang dan terkumpul untuk membentuk retakan. Akhirnya, litium niobat dipisahkan di sepanjang lapisan cacat untuk membentuk irisan litium niobat sisa dan wafer LNOI.
Aplikasi dan keuntungan wafer LNOI
1--Film piezoelektrik litium niobat (LNOI) memiliki koefisien piezoelektrik dan konstanta dielektrik yang tinggi, yang dapat mengubah energi mekanik menjadi energi listrik atau energi listrik menjadi energi mekanik. Oleh karena itu, film ini banyak digunakan dalam bidang sensor, seperti sensor tekanan, sensor percepatan, sensor suhu, dan sebagainya. Selain itu, film piezoelektrik litium niobat juga dapat digunakan dalam perangkat akustik dan perangkat getaran, seperti filter keramik piezoelektrik kompleks transduser keramik piezoelektrik.
2-Kestabilan lapisan piezoelektrik lithium niobate juga merupakan salah satu kelebihannya. Berkat kestabilan struktur kristal dan kelembaman kimianya, lapisan piezoelektrik lithium niobate dapat bekerja pada suhu tinggi, kelembaban tinggi, asam kuat, alkali kuat, dan lingkungan keras lainnya, dengan ketahanan korosi dan daya tahan yang baik.
3-Film piezoelektrik lithium niobate merupakan material piezoelektrik baru dengan kinerja dan stabilitas yang sangat baik, serta memiliki prospek aplikasi yang luas. Dengan terus berkembangnya ilmu pengetahuan dan teknologi, film piezoelektrik lithium niobate akan diaplikasikan di lebih banyak kota, sehingga memberikan lebih banyak kemudahan dan inovasi bagi kehidupan masyarakat.
Diagram Rinci


