Wafer LNOI film kristal tunggal Lithium niobate 4 inci 6 inci
Proses penyiapan bahan LNOI pada dasarnya dibagi menjadi empat langkah berikut
(1) Ion He disuntikkan ke dalam bahan litium niobate X-cut pada energi tertentu, dan dimasukkan ke dalam lapisan cacat pada kedalaman tertentu di bawah lapisan permukaan litium niobate;
(2) Bahan litium niobate yang ditanamkan ion diikat ke substrat silikon dengan lapisan oksida untuk membentuk struktur ikatan;
(3) Struktur ikatan dianil untuk membuat cacat yang disebabkan oleh implantasi ion He berevolusi dan berkumpul membentuk retakan. Terakhir, litium niobate dipisahkan sepanjang lapisan cacat untuk membentuk sisa irisan litium niobate dan wafer LNOI.
Aplikasi dan keunggulan wafer LNOI
1--Film piezoelektrik litium niobate (LNOI) memiliki koefisien piezoelektrik dan konstanta dielektrik yang tinggi, yang dapat mengubah energi mekanik menjadi energi listrik atau energi listrik menjadi energi mekanik. Oleh karena itu banyak digunakan dalam bidang sensor, seperti sensor tekanan, sensor percepatan, sensor suhu dan lain sebagainya. Selain itu, film piezoelektrik lithium niobate juga dapat digunakan pada perangkat akustik dan perangkat getaran, seperti filter keramik piezoelektrik kompleks transduser keramik piezoelektrik.
2-Stabilitas film piezoelektrik lithium niobate juga merupakan salah satu kelebihannya. Karena stabilitas struktur kristal dan kelembaman kimianya, film piezoelektrik litium niobate dapat bekerja dalam suhu tinggi, kelembapan tinggi, asam kuat, alkali kuat, dan lingkungan keras lainnya, dengan ketahanan dan daya tahan korosi yang baik.
Film piezoelektrik 3-Lithium niobate adalah bahan piezoelektrik baru dengan kinerja dan stabilitas yang sangat baik, dan memiliki prospek aplikasi yang luas. Dengan perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi yang berkelanjutan, film piezoelektrik lithium niobate akan diterapkan di lebih banyak kota, menghadirkan lebih banyak kenyamanan dan inovasi dalam kehidupan masyarakat.