Penjepit Keramik Silikon Karbida untuk Wafer SiC safir Si GAAs

Gambar Unggulan: Chuck Keramik Silikon Karbida untuk Wafer SiC Safir Si GAAs

Deskripsi Singkat:

Chuck Keramik Silikon Karbida adalah platform berkinerja tinggi yang dirancang untuk inspeksi semikonduktor, fabrikasi wafer, dan aplikasi pengikatan. Dibuat dengan material keramik canggih—termasuk SiC yang disinter (SSiC), SiC yang diikat reaksi (RSiC), silikon nitrida, dan aluminium nitrida—alat ini menawarkan kekakuan tinggi, ekspansi termal rendah, ketahanan aus yang sangat baik, dan masa pakai yang lama.

Kirim email kepada kami

Fitur

Diagram Terperinci

Gambaran Umum Chuck Keramik Silikon Karbida (SiC)

ItuChuck Keramik Silikon Karbidaadalah platform berkinerja tinggi yang dirancang untuk aplikasi inspeksi semikonduktor, fabrikasi wafer, dan pengikatan. Dibangun dengan material keramik canggih—termasukSiC yang disinter (SSiC), SiC terikat reaksi (RSiC), silikon nitrida, Danaluminium nitrida—ini menawarkanKekakuan tinggi, ekspansi termal rendah, ketahanan aus yang sangat baik, dan masa pakai yang lama..

Dengan rekayasa presisi dan pemolesan mutakhir, chuck ini memberikan hasil yang optimal.Kerataan sub-mikron, permukaan berkualitas cermin, dan stabilitas dimensi jangka panjang., sehingga menjadikannya solusi ideal untuk proses semikonduktor kritis.

Keunggulan Utama

Presisi Tinggi
Kerataan terkontrol di dalam0,3–0,5 μm, memastikan stabilitas wafer dan akurasi proses yang konsisten.
Pemolesan Cermin
Meraih prestasiRa 0,02 μmKekasaran permukaan, meminimalkan goresan dan kontaminasi pada wafer—sempurna untuk lingkungan yang sangat bersih.
Sangat Ringan
Lebih kuat namun lebih ringan daripada substrat kuarsa atau logam, sehingga meningkatkan kontrol gerakan, daya tanggap, dan akurasi pemosisian.
Kekakuan Tinggi
Modulus Young yang luar biasa memastikan stabilitas dimensi di bawah beban berat dan operasi kecepatan tinggi.
Ekspansi Termal Rendah
CTE (koefisien ekspansi termal) sangat sesuai dengan wafer silikon, mengurangi tekanan termal dan meningkatkan keandalan proses.
Ketahanan Aus yang Luar Biasa
Kekerasan ekstrem menjaga kerataan dan presisi bahkan di bawah penggunaan jangka panjang dan frekuensi tinggi.

Proses Manufaktur

Persiapan Bahan Baku
Serbuk SiC dengan kemurnian tinggi, ukuran partikel terkontrol, dan pengotor sangat rendah.
Pembentukan & Sintering
Teknik sepertisintering tanpa tekanan (SSiC) or ikatan reaksi (RSiC)menghasilkan substrat keramik yang padat dan seragam.
Pemesinan Presisi
Penggilingan CNC, pemotongan laser, dan pemesinan ultra-presisi mencapai toleransi ±0,01 mm dan paralelisme ≤3 μm.
Perawatan Permukaan
Penggilingan dan pemolesan bertahap hingga Ra 0,02 μm; lapisan opsional tersedia untuk ketahanan korosi atau sifat gesekan yang disesuaikan.
Inspeksi & Kontrol Mutu
Interferometer dan penguji kekasaran permukaan memverifikasi kepatuhan terhadap spesifikasi standar semikonduktor.

Spesifikasi Teknis

Parameter	Nilai	Satuan
Kebosanan	≤0,5	mikrometer
Ukuran wafer	6'', 8'', 12'' (ukuran khusus tersedia)	—
Jenis permukaan	Tipe pin / Tipe cincin	—
Tinggi pin	0,05–0,2	mm
Diameter pin minimum	ϕ0.2	mm
Jarak pin minimum	3	mm
Lebar cincin segel minimum	0,7	mm
Kekasaran permukaan	Ra 0,02	mikrometer
Toleransi ketebalan	±0,01	mm
Toleransi diameter	±0,01	mm
Toleransi paralelisme	≤3	mikrometer

Aplikasi Utama

Peralatan inspeksi wafer semikonduktor
Sistem fabrikasi dan transfer wafer
Alat pengikatan dan pengemasan wafer
Manufaktur perangkat optoelektronik canggih
Instrumen presisi yang membutuhkan permukaan ultra-rata dan ultra-bersih.

Tanya Jawab – Chuck Keramik Silikon Karbida

Q1: Bagaimana perbandingan chuck keramik SiC dengan chuck kuarsa atau logam?
A1: Chuck SiC lebih ringan, lebih kaku, dan memiliki CTE yang mendekati wafer silikon, sehingga meminimalkan deformasi termal. Chuck ini juga menawarkan ketahanan aus yang lebih unggul dan masa pakai yang lebih lama.

Q2: Seberapa rata permukaan yang dapat dicapai?
A2: Dikendalikan di dalam0,3–0,5 μm, memenuhi tuntutan ketat produksi semikonduktor.

Q3: Apakah permukaan tersebut akan menggores wafer?
A3: Tidak—dipoles seperti cerminRa 0,02 μm, memastikan penanganan tanpa goresan dan mengurangi pembentukan partikel.

Q4: Ukuran wafer apa saja yang didukung?
A4: Ukuran standar6 inci, 8 inci, dan 12 inci, dengan opsi kustomisasi.

Q5: Bagaimana dengan hambatan termalnya?
A5: Keramik SiC memberikan kinerja suhu tinggi yang sangat baik dengan deformasi minimal di bawah siklus termal.

Tentang Kami

XKH mengkhususkan diri dalam pengembangan, produksi, dan penjualan teknologi tinggi berupa kaca optik khusus dan material kristal baru. Produk kami melayani elektronik optik, elektronik konsumen, dan militer. Kami menawarkan komponen optik Safir, penutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarsa, dan wafer kristal semikonduktor. Dengan keahlian yang mumpuni dan peralatan mutakhir, kami unggul dalam pemrosesan produk non-standar, dengan tujuan menjadi perusahaan teknologi tinggi terkemuka di bidang material optoelektronik.