Substrat silikon karbida untuk produksi penelitian wafer SiC 4H-N/6H-N kelas dummy, diameter 150 mm.
Spesifikasi substrat silikon karbida (SiC) berdiameter 6 inci
| Nilai | MPD Nol | Produksi | Tingkat Penelitian | Nilai Dummy |
| Diameter | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
| Ketebalan | 4H-N | 350um±25um | ||
| 4H-SI | 500um±25um | |||
| Orientasi Wafer | Pada sumbu :<0001>±0,5°untuk 4H-SI | |||
| Apartemen Utama | {10-10}±5.0° | |||
| Panjang Datar Utama | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
| Pengecualian tepi | 3 mm | |||
| TTV/Busur/Lentur | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
| Kepadatan Mikropipa | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
| Resistivitas 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Kekasaran | Polish Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
| #Retakan akibat cahaya intensitas tinggi | Tidak ada | 1 diperbolehkan, ≤2mm | Panjang kumulatif ≤10mm, panjang tunggal ≤2mm | |
| *Pelat heksagonal dengan cahaya intensitas tinggi | Luas kumulatif ≤1% | Luas kumulatif ≤ 2% | Luas kumulatif ≤ 5% | |
| *Area politipe dengan cahaya intensitas tinggi | Tidak ada | Luas kumulatif ≤ 2% | Luas kumulatif ≤ 5% | |
| Goresan akibat cahaya intensitas tinggi | 3 goresan untuk panjang kumulatif 1 x diameter wafer | 5 goresan untuk panjang kumulatif 1 x diameter wafer | 5 goresan untuk panjang kumulatif 1 x diameter wafer | |
| Chip tepi | Tidak ada | 3 diperbolehkan, masing-masing ≤0,5mm | 5 diperbolehkan, masing-masing ≤1mm | |
| Kontaminasi oleh cahaya intensitas tinggi | Tidak ada
| |||
Penjualan & Layanan Pelanggan
Pembelian Material
Departemen pengadaan bahan baku bertanggung jawab untuk mengumpulkan semua bahan baku yang dibutuhkan untuk memproduksi produk Anda. Ketelusuran lengkap semua produk dan bahan baku, termasuk analisis kimia dan fisik, selalu tersedia.
Kualitas
Selama dan setelah proses pembuatan atau pemesinan produk Anda, departemen kontrol kualitas terlibat dalam memastikan bahwa semua material dan toleransi memenuhi atau melampaui spesifikasi Anda.
Melayani
Kami bangga memiliki staf teknik penjualan dengan pengalaman lebih dari 5 tahun di industri semikonduktor. Mereka terlatih untuk menjawab pertanyaan teknis serta memberikan penawaran harga tepat waktu untuk kebutuhan Anda.
Kami siap membantu Anda kapan pun Anda mengalami masalah, dan akan menyelesaikannya dalam waktu 10 jam.



