Substrat silikon karbida untuk produksi penelitian wafer SiC 4H-N/6H-N kelas dummy, diameter 150 mm.

Deskripsi Singkat:

Kami dapat menyediakan substrat film tipis superkonduktor suhu tinggi, film tipis magnetik dan substrat film tipis feroelektrik, kristal semikonduktor, kristal optik, material kristal laser, sekaligus menyediakan layanan orientasi, pemotongan kristal, penggerindaan, pemolesan, dan pemrosesan lainnya. Substrat SiC kami berasal dari Pabrik Tankeblue di Tiongkok.


Fitur

Spesifikasi substrat silikon karbida (SiC) berdiameter 6 inci

Nilai

MPD Nol

Produksi

Tingkat Penelitian

Nilai Dummy

Diameter

150,0 mm ± 0,25 mm

Ketebalan

4H-N

350um±25um

4H-SI

500um±25um

Orientasi Wafer

Pada sumbu :<0001>±0,5°untuk 4H-SI
Di luar sumbu: 4,0° ke arah <1120> ±0,5° untuk 4H-N

Apartemen Utama

{10-10}±5.0°

Panjang Datar Utama

47,5 mm ± 2,5 mm

Pengecualian tepi

3 mm

TTV/Busur/Lentur

≤15um/≤40um/≤60um

Kepadatan Mikropipa

≤1cm-2

≤5cm-2

≤15cm-2

≤50cm-2

Resistivitas 4H-N 4H-SI

0,015~0,028Ω!cm

≥1E5Ω!cm

Kekasaran

Polish Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm

#Retakan akibat cahaya intensitas tinggi

Tidak ada

1 diperbolehkan, ≤2mm

Panjang kumulatif ≤10mm, panjang tunggal ≤2mm

*Pelat heksagonal dengan cahaya intensitas tinggi

Luas kumulatif ≤1%

Luas kumulatif ≤ 2%

Luas kumulatif ≤ 5%

*Area politipe dengan cahaya intensitas tinggi

Tidak ada

Luas kumulatif ≤ 2%

Luas kumulatif ≤ 5%

Goresan akibat cahaya intensitas tinggi

3 goresan untuk panjang kumulatif 1 x diameter wafer

5 goresan untuk panjang kumulatif 1 x diameter wafer

5 goresan untuk panjang kumulatif 1 x diameter wafer

Chip tepi

Tidak ada

3 diperbolehkan, masing-masing ≤0,5mm

5 diperbolehkan, masing-masing ≤1mm

Kontaminasi oleh cahaya intensitas tinggi

Tidak ada

Penjualan & Layanan Pelanggan

Pembelian Material

Departemen pengadaan bahan baku bertanggung jawab untuk mengumpulkan semua bahan baku yang dibutuhkan untuk memproduksi produk Anda. Ketelusuran lengkap semua produk dan bahan baku, termasuk analisis kimia dan fisik, selalu tersedia.

Kualitas

Selama dan setelah proses pembuatan atau pemesinan produk Anda, departemen kontrol kualitas terlibat dalam memastikan bahwa semua material dan toleransi memenuhi atau melampaui spesifikasi Anda.

Melayani

Kami bangga memiliki staf teknik penjualan dengan pengalaman lebih dari 5 tahun di industri semikonduktor. Mereka terlatih untuk menjawab pertanyaan teknis serta memberikan penawaran harga tepat waktu untuk kebutuhan Anda.

Kami siap membantu Anda kapan pun Anda mengalami masalah, dan akan menyelesaikannya dalam waktu 10 jam.

Diagram Terperinci

Substrat silikon karbida (1)
Substrat silikon karbida (2)

  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Tulis pesan Anda di sini dan kirimkan kepada kami.